Вышедшие номера
Аморфизация кремниевых нанонитей при облучении ионами аргона
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Аспиранты, 19-32-90174
Кононина А.В. 1, Балакшин Ю.В. 1,2, Гончар К.А. 1, Божьев И.В.1,3, Шемухин А.А. 1,2, Черныш В.С. 1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
3Центр квантовых технологий Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: anastasiia.kozhemyako@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 27 сентября 2021 г.
Принята к печати: 28 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 15 ноября 2021 г.

Проведено облучение кремниевых нанонитей ионами Ar+ c энергией 250 keV и флюенсами от 1013 до 1016 cm-2. Методом комбинационного рассеяния света исследована зависимость степени разупорядоченности структуры под действием ионного облучения от флюенса. Показано, что аморфизация пористого кремния происходит при больших значениях числа смещений на атом, чем в тонких пленках кремния. Ключевые слова: кремниевые нанонити, комбинационное рассеяние света, дефектообразование.