"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Формирование наноразмерных пленок золота в условиях многократного автооблучения при ионно-лучевом осаждении
Шарко С.А.1, Серокурова А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Стогний А.И.1, Кецко В.А.2
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, Москва, Россия
Email: sharko@physics.by, serokurova@physics.by, novitski@physics.by, stognij@physics.by, ketsko@igic.ras.ru
Поступила в редакцию: 21 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 22 сентября 2021 г.
Принята к печати: 23 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 2 ноября 2021 г.

Методом ионно-лучевого осаждения-распыления впервые получены однородные пленки золота толщиной несколько десятков нанометров на кремниевых и кварцевых подложках. Показано, что в условиях воздействия высокоэнергетической составляющей потока распыленных атомов происходит преимущественный латеральный рост наноразмерных слоев металла вдоль поверхности подложки. Решающую роль в формировании нанометровой пленки золота играют процессы упругого столкновения распыленных атомов металла с атомами подложки и растущей пленки. Применение операции многократного осаждения-распыления позволяет подавить процесс гранулирования и получить пленки золота с лучшими характеристиками, чем при однократном осаждении. Ключевые слова: ионно-лучевое осаждение-распыление, наноразмерная пленка золота, электрическое сопротивление, шероховатость поверхности, автооблучение.
  1. П.Н. Найденов, А.Л. Чехов, О.Л. Голикова, А.В. Беспалов, А.А. Гераськин, С.С. Савин, Т.В. Мурзина, ФТТ, 61 (9), 1706 (2019). DOI: 10.21883/FTT.2019.09.48114.22N [P.N. Naydenov, A.L. Chekhov, O.L. Golikova, A.V. Bespalov, A.A. Geraskin, S.S. Savin, T.V. Murzina, Phys. Solid State, 61 (9), 1658 (2019). DOI: 10.1134/S106378341909018X]
  2. А.И. Стогний, Н.Н. Новицкий, О.М. Стукалов, А.И. Демченко, В.И. Хитько, Письма в ЖТФ, 30 (6), 87 (2004). [A.I. Stognij, N.N. Novitsky, O.M. Stukalov, A.I. Demchenko, V.I. Khitko, Tech. Phys. Lett., 30 (3), 256 (2004). DOI: 10.1134/1.1707185]
  3. V. Amendola, R. Pilot, M. Frasconi, O.M. Marago, M.A. Iati, J. Phys.: Condens. Matter., 29 (20), 203002 (2017). DOI: 10.1088/1361-648X/aa60f3
  4. I. Razdolski, A.L. Chekhov, A.I. Stognij, A. Stupakiewicz, Phys. Rev. B, 100 (4), 045412 (2019). DOI: 10.1103/PhysRevB.100.045412
  5. A.L. Chekhov, V.L. Krutyanskiy, V.A. Ketsko, A.I. Stognij, T.V. Murzina, Opt. Mater. Express, 5 (7), 1647 (2015). DOI: 10.1364/OME.5.001647
  6. R. Malureanu, A. Lavrinenko, Nanotechnol. Rev., 4 (3) 259 (2015). DOI: 10.1515/ntrev-2015-0021
  7. Y. Kombluth, R. Mathews, L. Parameswaran, L.M. Racz, L.F. Velasquez-Garcia, Additive Manufacturing, 36, 101679 (2020). DOI: 10.1016/j.addma.2020.101679
  8. L. Leandro, R. Malureanu, N. Rozlosnik, A. Lavrinenko, ACS Appl. Mater. Interfaces, 7 (10) 5797 (2015). DOI: 10.1021/am508681u
  9. C. Bundesmann, H. Neumann, J. Appl. Phys., 124 (23), 231102 (2018). DOI: 10.1063/1.5054046
  10. А.И. Стогний, Н.Н. Новицкий, О.М. Стукалов, Письма в ЖТФ, 28 (1), 39 (2002). [A.I. Stognij, N.N. Novitskii, O.M. Stukalov, Tech. Phys. Lett., 28 (1), 17 (2002). DOI: 10.1134/1.1448630]
  11. M.V. Thompson, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 18 (1-6), 411 (1986). DOI: 10.1016/S0168-583X(86)80067-2
  12. Д. Фальконе, УФН, 162 (19), 71 (1992). DOI: 10.3367/UFNr.0162.199201c.0071 [G. Falcone, La Rivista del Nuovo Cimento, 13 (1), 1 (1990)
  13. J.P. Biersack, W. Eckstein, Appl. Phys. A, 34 (2), 73 (1984). DOI: 10.1007/BF00614759
  14. Дж. Эмсли, Элементы, пер. с англ. (Мир, М., 1993), с. 66--67, 91--92. [J. Emsley, The Elements, 2nd ed. (Oxford University Press, 1998).]
  15. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц, Теоретическая физика (Физматлит, М., 2004), т. I, с. 63--65
  16. Y. Yamamura, H. Tawara, Atom. Data Nucl. Data Tabl., 62 (2), 149 (1996). DOI: 10.1006/adnd.1996.0005
  17. W. Ensinger, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B., 127-128, 796 (1997). DOI: 10.1016/S0168-583X(97)00010-4

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.