Вышедшие номера
Формирование наноразмерных пленок золота в условиях многократного автооблучения при ионно-лучевом осаждении
Шарко С.А.1, Серокурова А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Стогний А.И.1, Кецко В.А.2
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, Москва, Россия
Email: sharko@physics.by, serokurova@physics.by, novitski@physics.by, stognij@physics.by, ketsko@igic.ras.ru
Поступила в редакцию: 21 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 22 сентября 2021 г.
Принята к печати: 23 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 2 ноября 2021 г.

Методом ионно-лучевого осаждения-распыления впервые получены однородные пленки золота толщиной несколько десятков нанометров на кремниевых и кварцевых подложках. Показано, что в условиях воздействия высокоэнергетической составляющей потока распыленных атомов происходит преимущественный латеральный рост наноразмерных слоев металла вдоль поверхности подложки. Решающую роль в формировании нанометровой пленки золота играют процессы упругого столкновения распыленных атомов металла с атомами подложки и растущей пленки. Применение операции многократного осаждения-распыления позволяет подавить процесс гранулирования и получить пленки золота с лучшими характеристиками, чем при однократном осаждении. Ключевые слова: ионно-лучевое осаждение-распыление, наноразмерная пленка золота, электрическое сопротивление, шероховатость поверхности, автооблучение.