Лазерное травление германия
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, 0057-2019-0005
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, 0817-2020-0007
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, ЦКП
Железнов В.Ю.
1, Малинский Т.В.
1, Миколуцкий С.И.
1, Рогалин В.Е.
1, Филин С.А.
1, Хомич Ю.В.
1, Ямщиков В.А.
1, Каплунов И.А.
2, Иванова А.И.
21Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Тверской государственный университет, Тверь, Россия
Email: v-rogalin@mail.ru, kaplunov.ia@tversu.ru
Поступила в редакцию: 3 февраля 2021 г.
В окончательной редакции: 11 апреля 2021 г.
Принята к печати: 12 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 18 мая 2021 г.
При исследовании сканирования полированной поверхности монокристаллов германия сфокусированным частотно-импульсным излучением ультрафиолетового Nd:YAG-лазера выявлено, что при предпороговых плотностях энергии (при E~ 0.5-1.15 J/cm2) в отсутствие заметных следов кратерообразования наблюдалось лазерное травление. Предполагается, что центрами зарождения абляции являются дислокации, выходящие на поверхность кристалла. Ключевые слова: УФ-лазер, наносекундный импульс, порог оптического пробоя, абляция, лазерное травление, монокристалл германия.
- F. Fraggelakis, G. Mincuzzi, I. Manek-Honninger, J. Lopez, R. Kling, RSC Adv., 8 (29), 16082 (2018). DOI: 10.1039/c8ra01774c
- T. Csizmadia, T. Smausz, C. Tapai, J. Kopniczky, X. Wang, M. Ehrhardt, P. Lorenz, K. Zimmer, L. Orosz, E. Varga, A. Oszko, B. Hopp, J. Laser Micro/Nanoeng., 10 (2), 110 (2015). DOI: 10.2961/jlmn.2015.02.0001
- F. Luo, W. Ong, Y. Guan, F. Li, S. Sun, G.C. Lim, M. Hong, Appl. Surf. Sci., 328, 405 (2015). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.12.053
- Е.В. Гуренцов, А.В. Еремин, С.А. Мусихин, ЖТФ, 89 (8), 1200 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.08.47891.2335 [Пер. версия: 10.1134/S1063784219080085]
- С.В. Старинский, Ю.Г. Шухов, А.В. Булгаков, Письма в ЖТФ, 42 (8), 45 (2016)
- В.П. Вейко, А.М. Скворцов, Т.Х. Конг, А.А. Петров, Письма в ЖТФ, 41 (14), 79 (2015)
- Т.В. Малинский, С.И. Миколуцкий, В.Е. Рогалин, Ю.В. Хомич, В.А. Ямщиков, И.А. Каплунов, А.И. Иванова, Письма в ЖТФ, 46 (16), 51 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.16.49856.18157 [Пер. версия: 10.1134/S1063785020080234]
- S.I. Mikolutskiy, R.R. Khasaya, Yu.V. Khomich, V.A. Yamshchikov, J. Phys.: Conf. Ser., 987, 012007 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/987/1/012007
- R. Le Harzic, D. Dorr, D. Sauer, M. Neumeier, M. Epple, H. Zimmermann, F. Stracke, Phys. Procedia, 12, 29 (2011). DOI: 10.1016/j.phpro.2011.03.102
- V.S. Makin, Yu.I. Pestov, V.E. Privalov, Opt. Mem. Neural Networks (Inform. Opt.), 21 (1), 52 (2012). DOI: 10.3103/S1060992X12010079
- И.А. Каплунов, В.Е. Рогалин, Фотоника, 13 (1), 88 (2019). DOI: 10.22184/FRos.2019.13.1.88.106
- Д.И. Левинзон, Р.Е. Ровинский, В.Е. Рогалин, Е.П. Рыкун, А.Л. Трайнин, И.С. Ценина, Э.Г. Шейхет, Изв. АН СССР. Сер. физ., 43 (9), 2001 (1979)
- Е.Е. Алексеев, С.Ю. Казанцев, И.Г. Кононов, В.Е. Рогалин, К.Н. Фирсов, Оптика и спектроскопия, 124 (6), 790 (2018). DOI: 10.21883/OS.2018.06.46082.180-17 [Пер. версия: 10.1134/S0030400X18060036]
- L. Claeys, E. Simoen, Germanium --- based technologies: from materials to devices (Elsevier, Berlin, 2007). DOI: 10.1016/S1369-7021(07)70279-1
- M. Bosi, G. Atolini, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater., 56 (3), 146 (2010). DOI: 10.1002/crat.201000618
- М.А. Окатов, Справочник технолога-оптика (Политехника, СПб., 2004)
- Н. Бломберген, Квантовая электроника, 1 (4), 786 (1974)
- С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко, Действие излучения большой мощности на металлы (Наука, М., 1970)
- И.А. Каплунов, А.И. Колесников, А.И. Иванова, О.И. Подкопаев, С.А. Третьяков, Р.М. Гречишкин, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 5, 81 (2015). DOI: 10.7868/S0207352815060128 [Пер. версия: 10.1134/S102745101503026X]
- И.А. Каплунов, А.В. Шелопаев, А.И. Колесников, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 12, 22 (2010). [Пер. версия: 10.1134/S1027451010060194]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
