"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Получение TiN-покрытий реактивным анодным испарением титана в разряде с самонакаливаемым полым катодом
Российский научный фонд, 20-79-10059
Меньшаков А.И.1,2, Емлин Д.Р. 1
1Институт электрофизики Уральского отделения РАН, Екатеринбург, Россия
2Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия
Email: menshakovandrey@mail.ru, erd@iep.uran.ru
Поступила в редакцию: 7 декабря 2020 г.
В окончательной редакции: 7 декабря 2020 г.
Принята к печати: 22 февраля 2021 г.
Выставление онлайн: 22 марта 2021 г.

Предложен способ получения TiN-покрытий путем анодного испарения титана в газовом сильноточном разряде (30 А) с самонакаливаемым полым катодом в среде Ar+N2. Оптический спектральный анализ показывает, что в составе газоразрядной плазмы присутствует большое количество активированного титана, а доля ионов металла, поступающих из плазмы на подложку с учетом однозарядности ионов, достигает 70%. При потоке азота 5 cm3/min получены TiN-покрытия толщиной 2 μm с твердостью до 24 GPa. Скорость осаждения на расстоянии 7 cm от источника паров составила ~ 4 μm/h. Ключевые слова: нитрид титана, анодное испарение, самонакаливаемый полый катод, PVD.
  1. A. Anders, Thin Solid Films, 518 (15), 4087 (2010). DOI: 10.1016/j.tsf.2009.10.145
  2. J.-W. Lim, H.-S. Park, T.-H. Park, J.-J. Lee, J. Joo, J. Vac. Sci. Technol. A, 18 (2), 524 (2000). DOI: 10.1116/1.582219
  3. И.И. Аксёнов, Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы (ННЦ ХФТИ, Харьков, 2005)
  4. N.V. Gavrilov, A.S. Kamenetskikh, P.V. Tretnikov, A.V. Chukin, Surf. Coat. Technol., 337, 453 (2018). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.01.058
  5. Н.В. Гаврилов, А.И. Меньшаков, Приборы и техника эксперимента, N 5, 140 (2011). [Пер версия: 10.1134/S0020441211050046]
  6. G.Y. Yushkov, A. Anders, E.M. Oks, I.G. Brown, J. Appl. Phys., 88 (10), 5618 (2000). DOI: 10.1063/1.1321789
  7. A.I. Hershcovitch, Appl. Phys. Lett., 68 (4), 464 (1996). DOI: 10.1063/1.116414
  8. G.V. Samsonov, Nitrides (Naukova Dumka, Kiev, 1969), p. 138

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.