"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Радиоактивационный контроль плотности износостойких покрытий AlN и CrN на кремнии
РФФИ и Госкорпорация "Росатом", 20-21-00025/20
Рыжков В.А. 1, Тарбоков В.А. 1, Смолянский Е.А. 2, Ремнев Г.Е. 1
1Инженерная школа новых производственных технологий, Томский политехнический университет, Томск, Россия
2Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Томский политехнический университет, Томск, Россия
Email: ryzhkov@tpu.ru, tarbokovv@tpu.ru, smolianskyea@ya.ru, remnev06@mail.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2021 г.
В окончательной редакции: 12 февраля 2021 г.
Принята к печати: 19 февраля 2021 г.
Выставление онлайн: 22 марта 2021 г.

С помощью комбинации двух методик (неразрушающего радиоактивационного анализа на пучках протонов и оптической микроинтерферометрии) измерены соответственно массовые и линейные толщины покрытий AlN и CrN, осажденных на кремниевые подложки методом магнетронного распыления. Показано, что при линейных толщинах от 2.2 до 5.7 μm плотность покрытий близка к значениям для объемных материалов AlN (3.26 g/cm3) и CrN (5.9 g/cm3), а стехиометрию нитридов можно контролировать, изменяя параметры магнетронного осаждения. Методика может быть использована также для определения плотности покрытий из карбидов и оксидов металлов, которые применяются в качестве износостойких покрытий. Ключевые слова: плотность, радиоактивационный анализ, магнетрон, микроинтерферометр.
  1. G.E. Remnev, I.F. Isakov, M.S. Opekunov, V.M. Matvienko, V.A. Ryzhkov, V.K. Struts, I.I. Grushin, A.N. Zakoutayev, A.V. Potyomkin, V.A. Tarbokov, A.N. Pushkaryov, V.L. Kutuzov, M.Yu. Ovsyannikov, Surf. Coat. Techol., 114, 206 (1999). DOI: 10.1016/S0257-8972(99)00058-4
  2. M. Lindner, F. Hoflsauer, J. Heider, M. Reinelt, H.-C. Langowski, Thin Solid Films, 666, 6 (2018). DOI: 10.1016/j.tsf.2018.09.032
  3. C. Fiorini, A. Gianoncelli, A. Longoni, F. Zaraga, X-Ray Spectrometry, 31, 92 (2002). DOI: 10.1002/xrs.550
  4. W. Giurlani, E. Berretti, M. Innocenti, A. Lavacchi, Coatings, 9, 79 (2019). DOI: 10.3390/coatings9020079
  5. G.G. Stoney, Proc. Roy. Soc. Lond. A, 82, 172 (1909). DOI: 10.1098/rspa.1909.0021

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.