Воздействие импульсного тлеющего разряда атмосферного давления на алюминиевые пленки нанометровой толщины
Academic Excellence Project 5-100 СПбПУ Петра Великого
Емельянов О.А.
1, Плотников А.П.
1, Феклистов Е.Г.
11Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: oaemel2@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 сентября 2020 г.
В окончательной редакции: 26 ноября 2020 г.
Принята к печати: 2 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 12 января 2021 г.
Исследовано воздействие положительного импульсного коронного разряда на поверхность тонкопленочного катода в воздухе атмосферного давления для промежутков 2-8 mm при напряжении 5-15 kV с частотой следования импульсов 10-15 kHz, амплитудой и длительностью импульса тока 10-20 mA и 300-500 ns соответственно. Показано, что при относительно малых средних токах 20-50 μA вблизи катода разряд трансформируется в тлеющий. Вследствие контрагирования разряда на поперечном масштабе порядка 1 μm джоулев разогрев формируемого катодного слоя может достигать величин порядка 1000 K и вызывать локальную эрозию поверхности катода. Указанный механизм необходимо учитывать при анализе эффектов взаимодействия плазмы разряда с биологическими объектами. Ключевые слова: тлеющий разряд атмосферного давления, холодная плазма, катодное пятно, стример.
- Ю.К. Стишков, А.В. Самусенко, И.А. Ашихмин, УФН, 188 (12), 1331 (2018)
- A. Abahazem, A. Mraihi, N. Merbahi, M. Yousfi, O. Eichwald, IEEE Trans. Plasma Sci., 39 (11), 2230 (2011)
- M.J. Johnson, R. Tirumala, D.B. Go, J. Electrostat., 74, 8 (2015)
- E. Sysolyatina, A. Mukhachev, M. Yurova, M. Grushin, V. Karalnik, A. Petryakov, N. Trushkin, S. Ermolaeva, Yu. Akishev, Plasma Process. Polym., 11, 315 (2014)
- О.А. Емельянов, Н.О. Петрова, Н.В. Смирнова, М.В. Шемет, Письма в ЖТФ, 43 (16), 30 (2017)
- Ю.П. Райзер, Физика газового разряда (Интеллект, М., 2009)
- A. Luque, V. Ratushnaya, U. Ebert, J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (23), 234005 (2008)
- N. Babaeva, W. Tian, M.J. Kushner, J. Phys. D: Appl. Phys., 47 (23), 235201 (2014)
- M. vCernak, T. Hoder, Z. Bonaventura, Plasma Sources Sci. Technol., 29 (1), 013001 (2020)
- А.А. Кудрявцев, А.С. Смирнов, Л.Д. Цендин, Физика тлеющего разряда (Лань, СПб., 2010)
- В.С. Голубев, С.В. Пашкин, Тлеющий разряд повышенного давления (Наука, М., 1990)
- D.Z. Pai, D.A. Lacoste, C.O. Laux, J. Appl. Phys., 107 (9), 093303 (2010)
- К.И. Алмазова, А.Н. Белоногов, В.В. Боровков, В.С. Курбанисмаилов, Г.Б. Рагимханов, А.А. Тренькин, Д.В. Терешонок, З.Р. Халикова, Письма в ЖТФ, 46 (15), 10 (2020)
- А.А. Тренькин, К.И. Алмазова, А.Н. Белоногов, В.В. Боровков, Е.В. Горелов, И.В. Морозов, С.Ю. Харитонов, ЖТФ, 91 (2), 255 (2021)
- И.Г. Кесаев, Катодные процессы электрической дуги (Наука, М., 1968)
- В.И. Орешкин, С.А. Баренгольц, С.А. Чайковский, ЖТФ, 77 (5), 108 (2007),
- Yu. Akishev, V. Karalnik, I. Kochetov, A. Napartovich, N. Trushkin, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (5) 054013 (2014)
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, под ред. Р. Бериша (Мир, М., 1984), т. 1
- O.A. Emelyanov, E.G. Feklistov, N.V. Smirnova, K.A. Kolbe, E.V. Zinoviev, M.S. Asadulaev, A.A. Popov, A.S. Shabunin, K.F. Osmanov, in Proc. of the Int. Conf. on advances and applications in plasma physics (AAPP 2019), ed. by M. Tendler, V. Rozhansky, P. Goncharov, A. Kravchuk. AIP Conf. Proc., 2179 (1), 20006 (2019). DOI: 10.1063/1.5135479
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.