Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2020, выпуск 11 » Статья стр. 43
<<<>>>
Фемтосекундный лазерный отжиг многослойных тонкопленочных структур на основе аморфных германия и кремния
DOI: 10.21883/PJTF.2020.11.49499.18201
Переводная версия: 10.1134/S1063785020060048
Колчин А.В. 1, Шулейко Д.В.1, Павликов А.В.1,2, Заботнов С.В. 1,2, Головань Л.А. 1, Преснов Д.Е. 1,3,4, Володин В.А.5,6, Кривякин Г.К.5,6, Попов А.А.7, Кашкаров П.К. 1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
4Центр квантовых технологий Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
5Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
6Новосибирский государственный университет, физический факультет, Новосибирск, Россия
7Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
Email: avkolchin@physics.msu.ru, dmitriy1815@gmail.com, pavlikov@physics.msu.ru, zabotnov@physics.msu.ru, golovan@physics.msu.ru, denis-presnov@yandex.ru, volodin@isp.nsc.ru, krivyakin@isp.nsc.ru, imiraslab4@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 января 2020 г.
В окончательной редакции: 16 марта 2020 г.
Принята к печати: 16 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 8 апреля 2020 г.
PDF версия
Исследованы процессы фемтосекундного лазерного отжига тонкопленочных многослойных структур на основе аморфных кремния и германия, изготовленных методом плазмохимического осаждения на стеклянную подложку. Методом растровой электронной микроскопии обнаружено формирование периодических структур на поверхности облученных пленок. Анализ спектров комбинационного рассеяния света показал, что в результате воздействия фемтосекундными лазерными импульсами происходит кристаллизация аморфного германия, а также зависящее от плотности энергии импульсов смешивание германиевых и кремниевых слоев при отсутствии кристаллизации слоев аморфного кремния. Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, тонкопленочные кремниевые и германиевые структуры, растровая электронная микроскопия, комбинационное рассеяние света.
  1. Либенсон М.Н., Яковлев Е.Б., Шандыбина Г.Д. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. СПб.: НИУ ИТМО, 2014. 181 с
  2. Амасев Д.В., Хенкин М.В., Drevinskas R., Kazansky P., Казанский А.Г. // ЖТФ. 2017. Т. 87. В. 6. С. 909--913
  3. Макин В.С., Пестов Ю.И., Макин Р.С. // Оптика и спектроскопия. 2017. Т. 123. В. 2. С. 264--268
  4. Кривякин Г.К., Володин В.А., Шкляев А.А., Mortet V., More-Chevalier J., Ashcheulov P., Remes Z., Stuchlikova T.H., Stuchlik J. // ФТП. 2017. Т. 51. В. 10. С. 1420--1425
  5. Li C., Ni J., Sun X., Wang X., Li Z., Cai H., Li J., Zhang J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2017. V. 50. P. 045108
  6. Володин В.А., Кривякин Г.К., Ивлев Г.Д., Прокопьев С.Л., Гусакова С.В., Попов А.А. // ФТП. 2019. Т. 53. В. 3. С. 423--429
  7. Shuleiko D.V., Martyshov M.N., Presnov D.E., Zabotnov S.V., Kashkarov P.K. // J. Phys.: Conf. Ser. 2020. In press
  8. Марциновский Г.А., Шандыбина Г.Д., Дементьева Ю.С., Дюкин Р.В., Заботнов С.В., Головань Л.А., Кашкаров П.К. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 10. С. 1339--1345
  9. Заботнов С.В., Ежов А.А., Головань Л.А., Ластовкина М.А., Панов В.И., Тимошенко В.Ю., Кашкаров П.К. // ФТП. 2007. Т. 41. В. 8. C. 1017--1020
  10. Bermejo D., Cardona M. // J. Non-Cryst. Solids. 1979. V. 32. P. 405--419
  11. Cardona M., Merlin R. Light Scattering in Solids IX. Berlin: Springer-Verlag, 1985. 432 p
  12. Володин В.А., Ефремов М.Д., Якимов А.И., Михалёв Г.Ю., Никифоров А.И., Двуреченский А.В. // ФТП. 2007. Т. 41. В. 8. С. 950--954
  13. Ciesielski A., Skowronski L., Pacuski W., Szoplik T. // Mater. Sci. Semicond. Proc. 2018 V. 81 P. 64--67
  14. Ambrosone G., Coscia U., Lettieri S., Maddalena P., Minarini C. // Mater. Sci. Eng. B. 2003. V. 101. P. 236--241

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme