"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Нелинейно-оптическая диагностика поликристаллических тонких пленок цирконата-титаната свинца
Переводная версия: 10.1134/S1063785020040215
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation, state task, FSFZ-2020-0022
MIREA - Russian Technological University, grants for young scientists, NICH-43
Елшин А.С. 1, Пронин И.П. 2, Сенкевич С.В. 2, Мишина Е.Д. 1
1МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: elshin_andrew@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 24 января 2020 г.
Принята к печати: 28 января 2020 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.

С помощью нелинейно-оптической микроскопии изучены однофазные (перовскит) и двухфазные (перовскит+пирохлор) тонкие пленки цирконата-титаната свинца, осажденные на подложки Pt/TiO2/SiO2/Si методом высокочастотного магнетронного распыления при различных расстояниях мишень-подложка (D=30-70 mm). Обнаружено неоднородное распределение сигнала второй гармоники в сферолитовых перовскитовых островках, в том числе увеличение сигнала на границе перовскит/пирохлор, которое может быть связано с неоднородным распределением механических напряжений. Обсуждаются причины сильного изменения сигнала второй гармоники, его взаимосвязи с изменением характера сферолитовой структуры и условий осаждения пленок при варьировании расстояния мишень-подложка. Ключевые слова: сегнетоэлектрические тонкие пленки, цирконат-титанат свинца, сферолитовые структуры, нелинейно-оптическая диагностика, генерация второй гармоники.
  1. Воротилов К.А., Мухортов В.М., Сигов А.С. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. М.: Энергоатомиздат, 2011. 175 с
  2. Hwang G.T., Annapureddy V., Han J.H., Joe D.J., Baek C., Park D.Y., Kim D.H., Park J.H., Jeong C.K., Park K.I., Choi J.J., Kim D.K., Ryu J., Lee K.J. // Adv. Energy Mater. 2016. V. 6. N 13. P. 1600237. DOI: 10.1002/aenm.201600237
  3. Yeo H.G., Ma X., Rahn C., Trolier-McKinstry S. // Adv. Funct. Mater. 2016. V. 26. N 32. P. 5940--5946. DOI: 10.1002/adfm.201601347
  4. Muralt P. // J. Am. Ceram. Soc. 2008. V. 91. N 5. P. 1385--1396. DOI: 10.1111/j.1551-2916.2008.02421.x
  5. Muralt P. // Rep. Prog. Phys. 2001. V. 64. N 10. P. 1339--1388. DOI: 10.1007/0-387-23319-9\_5
  6. Scott J.F. // Science. 2007. V. 315. N 5814. P. 954--959. DOI: 10.1126/science.1129564
  7. Iijima K., Ueda I., Kugimiya K. // Jpn. J. Appl. Phys. 1991. V. 30. Pt 1. N 9B. P. 2149--2151
  8. Suu K., Masuda T., Nishioka Y., Tani N. Process stability control of Pb(Zr,Ti)O3 ferroelectric thin film sputtering for FRAM application // Proc. of the Eleventh IEEE Int. Symp. on applications of ferroelectrics (ISAF XI'98). Montreux, Switzerland, 1998. P. 19--22
  9. Alrashda M.H.S., Hamzah A.A., Majlis B.Y. RF sputtered PZT thin film at MPB for piezoelectric harvester devices // 2015 IEEE Regional Symp. on micro and nanoelectronics (RSM). IEEE, 2015. P. 1--4. DOI: 10.1109/RSM.2015.7355018
  10. Mukhin N.V., Chigirev D.A. // J. Phys.: Conf. Ser. 2017. V. 872. P. 012045. DOI: 10.1088/1742-6596/872/1/012045
  11. Osipov V.V., Kaptelov E.Yu., Senkevich S.V., Kiselev D.A., Pronin I.P. // Ferroelectrics. 2018. V. 535. N 1. P. 78--82. DOI: 10.1080/00150193.2018.1432931
  12. Denev S.A., Lummen T.T., Barnes E., Kumar A., Gopalan V. // J. Am. Ceram. Soc. 2011. V. 94. N 9. P. 2699--2727. DOI: 10.1111/j.1551-2916.2011.04740.x
  13. Буряков А.М. // Рос. технол. журн. 2017. Т. 5. N 2. С. 22--31. DOI: 10.32362/2500-316X-2017-5-2-22-31
  14. Dolino G., Lajzerowicz J., Vallade M. // Phys. Rev. B. 1970. V. 2. N 6. P. 2194--2200. DOI: 10.1103/PhysRevB.2.2194
  15. Яффе Б., Кук У., Яффе Г. Пьезоэлектрическая керамика. М.: Мир, 1974. 288 с
  16. Noheda B., Cox D.E. // Phase Trans. 2006. V. 79. N 1-2. P. 5--20. DOI: 10.1080/01411590500467262
  17. Pronin V.P., Dolgintsev D.M., Osipov V.V., Pronin I.P., Senkevich S.V., Kaptelov E.Y. // Mater. Sci. Eng. 2018. V. 387. N 1. P. 012063
  18. Gauderon R., Lukins P.B., Sheppard C.J.R. // Opt. Lett. 1998. V. 23. N 15. P. 1209--1211. DOI: 10.1364/OL.23.001209
  19. Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Климов В.А., Зайцева Н.В., Шаплыгина Т.А., Кукушкин С.А. // ФТТ. 2010. Т. 52. В. 1. С. 124--129. DOI: 10.1134/S1063783410010233
  20. Bertocchi M., Luppi E., Degoli E., Veniard V., Ossicini S. // J. Chem. Phys. 2014. V. 140. N 21. P. 214705. DOI: 10.1063/1.4880756
  21. Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Киселев Д.А., Осипов В.В., Пронин В.П. // ФТТ. 2019. Т. 61. В. 12. С. 2369--2374. DOI: 10.1134/S1063783419120424
  22. Тентилова И.Ю., Кукушкин С.А., Каптелов Е.Ю., Пронин И.П., Уголков В.Л. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В. 4. С. 37--43. DOI: 10.1134/S1063785011020295

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.