"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Эффект прозрачности в пленках Zr-B-N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB2
Переводная версия: 10.1134/S1063785020020224
РФФИ, 19-08-00187
Кирюханцев-Корнеев Ф.В. 1, Левашов Е.А. 1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: kiruhancev-korneev@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 октября 2019 г.
Выставление онлайн: 20 января 2020 г.

Проведены исследования тонких покрытий в системе Zr-B-N, обладающих оптической прозрачностью. Показано, что повышение объемной доли азота в газовой смеси и, как следствие, концентрации азота в покрытиях приводит к увеличению оптического коэффициента пропускания вследствие образования фазы BN. Ключевые слова: покрытия ZrBN, катод ZrB2, магнетронное напыление, химический состав, оптические свойства, коэффициент пропускания, фаза BN.
  1. Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Иванов В.Н., Капитанчук Л.М., Конакова Р.В., Кудрик Я.Я., Миленин В.В. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 6. С. 755--758
  2. Broitman E., Tengdelius L., Hangen U.D., Lu J., Hultman L., Hogberg H. // Scripta Mater. 2016. V. 124. P. 117--120
  3. Tengdelius L., Broitman E., Lu J., Eriksson F., Birch J., Nyberg T., Hultman L., Hogberg H. // Acta Mater. 2016. V. 111. P. 166--172
  4. Sung J., Goedde D.M., Girolami G.S., Abelson J.R. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. P. 3904--3911
  5. Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Лемешева М.В., Швындина Н.В., Левашов Е.А., Потанин А.Ю. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2018. N 6. С. 602--612
  6. Dong Z.H., Peng X., Wang F.H. // Mater. Lett. 2015. V. 148. P. 76--78
  7. Chapusot V., Pierson J.F., Lapostolle F., Billard A. // Mater. Chem. Phys. 2009. V. 114. P. 780--784
  8. Zhang M., Jiang J., Houvska J., Kohout J., Vlvcek J., Meletis E.I. // Acta Mater. 2014. V. 77. P. 212--222
  9. Vlvcek J., Steidl P., Kohout J., vCerstvy R., Zeman P., Prokvsova vS., Pevrina V. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 215. P. 186--191
  10. Ubleis A., Mitterer C., Ebner R. // Surf. Coat. Technol. 1993. V. 60. P. 571--576

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.