Эффект прозрачности в пленках Zr-B-N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB2
Поступила в редакцию: 2 октября 2019 г.
Выставление онлайн: 20 января 2020 г.
Проведены исследования тонких покрытий в системе Zr-B-N, обладающих оптической прозрачностью. Показано, что повышение объемной доли азота в газовой смеси и, как следствие, концентрации азота в покрытиях приводит к увеличению оптического коэффициента пропускания вследствие образования фазы BN. Ключевые слова: покрытия ZrBN, катод ZrB2, магнетронное напыление, химический состав, оптические свойства, коэффициент пропускания, фаза BN.
- Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Иванов В.Н., Капитанчук Л.М., Конакова Р.В., Кудрик Я.Я., Миленин В.В. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 6. С. 755--758
- Broitman E., Tengdelius L., Hangen U.D., Lu J., Hultman L., Hogberg H. // Scripta Mater. 2016. V. 124. P. 117--120
- Tengdelius L., Broitman E., Lu J., Eriksson F., Birch J., Nyberg T., Hultman L., Hogberg H. // Acta Mater. 2016. V. 111. P. 166--172
- Sung J., Goedde D.M., Girolami G.S., Abelson J.R. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. P. 3904--3911
- Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Лемешева М.В., Швындина Н.В., Левашов Е.А., Потанин А.Ю. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2018. N 6. С. 602--612
- Dong Z.H., Peng X., Wang F.H. // Mater. Lett. 2015. V. 148. P. 76--78
- Chapusot V., Pierson J.F., Lapostolle F., Billard A. // Mater. Chem. Phys. 2009. V. 114. P. 780--784
- Zhang M., Jiang J., Houvska J., Kohout J., Vlvcek J., Meletis E.I. // Acta Mater. 2014. V. 77. P. 212--222
- Vlvcek J., Steidl P., Kohout J., vCerstvy R., Zeman P., Prokvsova vS., Pevrina V. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 215. P. 186--191
- Ubleis A., Mitterer C., Ebner R. // Surf. Coat. Technol. 1993. V. 60. P. 571--576
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.