Разработка методов жидкостного травления разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов
Российский научный фонд, Высокоэффективные фотоэнергосистемы на основе каскадных солнечных батарей, 17-79-30035
Малевская А.В.
1, Ильинская Н.Д.
1, Андреев В.М.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, Natalya.Ilynskaya@mail.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Выполнены исследования постростовой технологии изготовления каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge. Исследованы методы жидкостного химического и электрохимического травления слоев гетероструктуры. Разработана технология создания разделительной меза-структуры, достигнуто улучшение качества поверхности и профиля боковой стенки мезы для гетероструктур с разным составом слоев. Ключевые слова: каскадный солнечный элемент, гетероструктура, травление, меза-структура.
- Alferov Zh.I., Andreev V.M., Rumyantsev V.D. // Concentrator photovoltaics / Eds A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences. 2007. V. 130. P. 25--50
- Green M.A., Hishikawa Y., Dunlop E.D., Levi D.H., Hohl-Ebinger J., Yoshita M., Ho-Baillie A.W.Y. // Progr. Photovolt.: Res. Appl. 2018. V. 27. P. 3--12. DOI: 10.1002/pip.3102
- Apostoleris H., Stefancich M., Chiesa M. Concentrating photovoltaics (CPV): the path ahead. 1st ed. Cham: Springer International Publ., 2018. 68 p
- Schwartz G.C., Srikrishnan K.V. Hadbook of semiconductor technology. 2nd ed. Boca Raton: Taylor \& Francis Group, 2006. 506 p
- Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. Ч. 1. 605 с. Ч. 2. 632 с
- Андреев В.М., Гребенщикова Е.А., Задиранов Ю.М., Ильинская Н.Д., Калиновский В.С., Малевская А.В., Усикова А.А. Патент N 2485628. 20.06.2013
- Андреев В.М., Ильинская Н.Д., Калюжный Н.А., Лантратов В.М., Малевская А.В., Минтаиров С.А. Патент N 2354009. 07.12.2007
- Ефимов Е.А., Ерусалимчик И.Г. Электрохимия германия и кремния. М.: Госхимиздат, 1963. 182 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.