Исследование формирования антиотражающего покрытия каскадных солнечных элементов
Малевская А.В.
1, Задиранов Ю.М.
1, Блохин А.А.
1, Андреев В.М.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, zadiranov@mail.ioffe.ru, bloalex91@yandex.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Выполнены исследования формирования антиотражающего покрытия каскадных солнечных элементов на основе гетероструктур А3В5. Изучены режимы обработки поверхности гетероструктур с использованием методов плазмохимического, жидкостного химического и ионно-лучевого травления. Разработана технология создания антиотражающего покрытия на основе слоев ТiOx/SiO2. Достигнуто улучшение параметров адгезии покрытия к поверхности гетероструктуры, а также снижение коэффициента отражения в каскадных солнечных элементах. Ключевые слова: каскадный солнечный элемент, антиотражающее покрытие, гетероструктура A3B5.
- Alferov Zh.I., Andreev V.M., Rumyantsev V.D. // Concentrator photovoltaics / Eds A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences. 2007. V. 130. P. 25--50
- Bett A.W., Dimroth F., Siefer G. // Concentrator photovoltaics / Eds A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences. 2007. V. 130. P. 67--88
- Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. Ч. 1. 605 с. Ч. 2. 632 с
- Малевская А.В., Хвостиков В.П., Солдатенков Ф.Ю., Хвостикова О.А., Власов А.С., Андреев В.М. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 1. С. 12--15. DOI: 10.21883/PJTF.2019.01.47148.17544
- Levinson H.J. Principles of lithography. 3rd ed. Washington: SPIE, 2010. 504 p
- Константинов Ю.А. Антиотражающие покрытия для солнечных батарей // Научные исследования: от теории к практике. Материалы IV Междунар. науч.-практ. конф. Чебоксары: ЦНС "Интерактив плюс", 2016. С. 198--200
- Андреев В.М., Малевская А.В., Ильинская Н.Д., Задиранов Ю.М. Патент N 2687501. 30.05.2018
- Suzuki K., Smith B.W. Microlithography. Science and Technology. 2nd ed. Abingdon: Taylor \& Francis Group, 2007. 864 p. DOI: 10.1201/9781420051537
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
