"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине
Переводная версия: 10.1134/S1063785019080200
Экспериментальные исследования выполнены с использованием оборудования ЦКП НИЦ «Курчатовский институт» - ЦНИИ КМ «Прометей» при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках соглашения №14.595.21.0004, уникальный идентификатор RFMEFI59517X0004
Работа выполнена в рамках проектной части гос. задания, проект № 16.2811.2017/4.6
Долгинцев Д.М.1, Старицын М.В.1,2, Пронин В.П.1, Каптелов Е.Ю.1,3, Сенкевич С.В.1,3, Пронин И.П.1,3, Немов С.А.4
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"--Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов "Прометей", Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 8 мая 2019 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.

При варьировании давления рабочего газа в установке высокочастотного магнетронного распыления осаждались тонкие пленки цирконата-титаната свинца, состоящие из двух слоев, в которых содержание свинца различалось на 20%. Проведено сравнительное исследование фазового состояния, состава и диэлектрических свойств двухслойных структур, различающихся последовательностью осаждения этих слоев. Показано, что в зависимости от очередности расположения слоев существенно изменяются условия кристаллизации фазы перовскита и униполярные свойства пленок. Ключевые слова: высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки PZT, неоднородное распределение свинца по толщине.
  1. Muralt P. // J. Am. Ceram. Soc. 2008. V. 91. N 5. P. 1385--1396. DOI: 10.1111/j.1551-2916.2008.02421.x
  2. Kang M.-G., Jung W.-S., Kang Ch.-Y., Yoon S.-J. // Actuators. 2016. V. 5. N 1. P. 5 (1--17). DOI: 10.3390/act5010005
  3. Eerenstein W., Mathur N.D., Scott J.F. // Nature. 2006. V. 442. N 7104. P. 759--765. DOI: 10.1038/nature05023
  4. Яффе Б., Кук У., Яффе Г. Пьезоэлектрическая керамика. М.: Мир, 1974. 288 с
  5. Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков. М.: Энергия, 1976. 336 с
  6. Долгинцев Д.М., Пронин В.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин И.П. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 6. С. 3--6
  7. Воротилов К.А., Жигалина О.М., Васильев В.А., Сигов А.С. // ФTT. 2009. Т. 51. В. 7. С. 1268--1271
  8. Хмеленин Д.Н., Жигалина О.М., Воротилов К.А., Лебо И.Г. // ФTT. 2012. Т. 54. В. 5. С. 939--941
  9. Пронин В.П., Сенкевич С.В., Каптелов Е.Ю., Пронин И.П. // ФТТ. 2013. Т. 55. В. 1. С. 92--97
  10. Es-Souni M., Kuhnke M., Iakovlev S., Solterbeck C.-H., Piorra A. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. N 2. P. 022907. doi.org/10.1063/1.1851610
  11. Lv P.P., Jiang X.M., Yan J., Hu G.D. // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 2017. V. 28. N 2. P. 2233--2240. doi.org/10.1007/s10854-016-5793-6
  12. Вольпяс В.А., Козырев А.Б., Тумаркин А.В., Долгинцев Д.М., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин И.П. // ФТТ. 2019. Т. 62. В. 7. C. 1282--1286
  13. Осипов В.В., Киселев Д.А., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин И.П. // ФТТ. 2015. Т. 57. В. 9. С. 1748--1754

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.