"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур
Переводная версия: 10.1134/S1063785019070083
Николаенко Ю.М.1, Корнеевец А.С.1, Эфрос Н.Б.1, Бурховецкий В.В.1, Решидова И.Ю.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Украина
Email: nik@donfti.ru
Поступила в редакцию: 21 февраля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2019 г.

Показана возможность количественной оценки толщины тонких пленок по данным измерений катионного состава пленочных структур с помощью энергодисперсионного спектрометра INCA Energy-350, входящего в состав электронного микроскопа JSM-6490 LV (Япония). Применение данного метода особенно актуально при невозможности обеспечить достаточный контраст между полученными с помощью сканирующего электронного микроскопа изображениями участков пленки и подложки на поперечном сколе пленочной структуры. Ключевые слова: сканирующий электронный микроскоп, энергодисперсионный рентгеновский спектрометр, нанотолщинные пленки, магнетронный метод распыления мишени.
  1. Селюков Р.В., Наумов В.В., Васильев С.В. // ЖТФ. 2018. Т. 88. В. 6. С. 926--933
  2. Пресняков М.Ю., Сладкопевцев Б.В., Белоногов Е.К. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 23. С. 58--65
  3. Шугуров А.Р., Акулинкин А.А., Кастеров А.М., Калашников М.П. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 8. С. 51--54
  4. Валеев Р.Г., Петухов Д.И., Чукавин А.И., Бельтюков А.Н. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 3. С. 23--28
  5. Муссаева М.А., Ибрагимова Э.М. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 4. С. 34--37
  6. Котов Г.И., Кузубов С.В., Агапов Б.Л., Панин Г.А., Безрядин Н.Н. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2012. Т. 14. N 4. С. 429--432
  7. Куприенко С.Ю., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Тагаченков А.М., Тагаченков А.А. // ЖТФ. 2015. Т. 85. В. 10. С. 101--104
  8. Адамов А.А., Храмов В.Н. // Математическая физика и компьютерное моделирование. 2017. Т. 20. N 4. С. 83--94
  9. https://www.jeol.co.jp/en
  10. Николаенко Ю.М., Бурховецкий В.В., Корнеевец А.С., Эфрос Н.Б., Решидова И.Ю., Тихий А.А., Жихарев И.В., Фарапонов В.В. // ФТВД. 2017. T. 27. B. 4. С. 116--122
  11. Овсянников Г.А., Петржик А.М., Борисенко И.В., Климов А.А., Игнатов Ю.А., Демин В.В., Никитов С.А. // ЖЭТФ. 2009. T. 135. B. 1. С. 56--64
  12. Белявский В.И. // Сорос. образоват. журн. 1998. N 10. С. 92--98
  13. Николаенко Ю.М., Мухин А.Б., Чайка В.А., Бурховецкий В.В. // ЖТФ. 2010. T. 80. B. 8. С. 115--119
  14. Борисенко И.В., Демидов В.В., Климов А.А., Овсянников Г.А., Константинян К.И., Никитов С.А., Преображенский В.Л., Tiercelin N., Pernod P. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 3. С. 1--10
  15. Варюхин В.Н., Николаенко Ю.М., Медведев Ю.В., Мухин А.Б., Беляев Б.В., Грицких В.А., Жихарев И.В., Кара-Мурза С.В., Корчикова Н.В., Тихий А.А. // Письма в ЖТФ. 2009. T. 35. B. 20. C. 19--27
  16. Nikolaenko Yu.M., Artemov A.N., Medvedev Yu.V., Efros N.B., Zhikharev I.V., Reshidova I.Yu., Tikhii A.A., Kara-Murza S.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2016. V. 49. P. 375302
  17. Николаенко Ю.М., Бурховецкий В.В., Корнеевец А.С., Эфрос Н.Б., Решидова И.Ю. // ФТВД. 2018. T. 28. B. 4. С. 78--81

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.