Влияние разряда на температуру подложки при напылении пленки
ЮНЦ РАН, Гос. задание, 01201354247
Широков В.Б.
1,2, Зинченко С.П.
1,21Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия
Email: shirokov-vb@rambler.ru
Поступила в редакцию: 3 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2019 г.
Исследован процесс нагрева подложки на начальном этапе синтеза пленки методом катодного высокочастотного распыления мишени. С помощью оптического интерферометрического метода определена температура, до которой разогревается подложка при включении разряда. В рабочем режиме напыления пленки титаната бария-стронция на подложку оксида магния температура превышает тысячу градусов по шкале Цельсия.
- Мухортов В.М., Головко Ю.И., Бирюков С.В., Анохин А., Юзюк Ю.И. // ЖТФ. 2016. Т. 86. В. 1. С. 93--98
- Schlom D.G., Chen L.-Q., Fennie C.J., Gopalan V., Muller D.A., Pan X., Ramesh R., Uecker R. // MRS Bull. 2014. V. 39. P. 118--130. DOI: 10.1557/mrs.2014.1
- Широков В.Б., Юзюк Ю.И., Dkhil B., Леманов В.В. // ФТТ. 2008. Т. 50. В. 5. С. 889--896
- Lyu J., Fina I., Solanas R., Fontcuberta J., Sanchez F. // Sci. Rep. 2018. V. 8. P. 495 (1--10). DOI: 10.1038/s41598-017-18842-5
- Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. Ростов н/Д: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. 224 с
- Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачёв Г.Н. // Рос. нанотехнологии. 2010. Т. 5. N 5--6. С. 77--80
- Tsay Y.F., Bendow B., Mitra S.S. // Phys. Rev. B. 1973. V. 8. P. 2688--2696. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.8.2688
- Fiquet G., Richet P., Montagnac G. // Phys. Chem. Miner. 1999. V. 27. N 2. P. 103--111. https://doi.org/10.1007/s002690050
- Born M., Wolf E. Principles of optics. 7th ed. Cambridge: Cambridge University Press, 2002. 956 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
