Вышедшие номера
Влияние парциального давления азота на состав, микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti1-x-yAlxyN, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Переводная версия: 10.1134/S1063785019040291
Шугуров А.Р.1, Акулинкин А.А.1,2, Кастеров А.М.1, Калашников М.П.1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Томский научный центр СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 28 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

Исследована эволюция элементного состава, морфологии поверхности, микроструктуры и механических свойств покрытий Ti1-x-yAlxyN, нанесенных методом магнетронного распыления, при увеличении отношения парциального давления азота к общему давлению газовой смеси от 0.1 до 0.5. Установлено, что наиболее значительные изменения относительного содержания Ti, Al и Ta в покрытиях происходят при варьировании данного отношения от 0.1 до 0.3. Показано, что выявленное изменение элементного состава покрытий Ti1-x-yAlxyN не оказывает влияния на их фазовый состав, однако приводит к изменениям их микроструктуры и механических характеристик.