"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона
Переводная версия: 10.1134/S1063785019030295
Министерство образования и науки РФ , 11.1402.2017/4.6
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-01-00512/17
Коробейщиков Н.Г. 1, Николаев И.В. 1, Роенко М.А. 1
1Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: korobei@ci.nsu.ru, i.nikolaev@nsu.ru, m.roenko@nsu.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1).
  1. Satyanarayan M.N., Deepthy A., Bhat H.L. // Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 1999. V. 24. P. 103--191
  2. Сорокина Н.И., Воронкова В.И. // Кристаллография. 2007. Т. 52. N 1. С. 82--95
  3. Mamrashev A., Nikolaev N., Antsygin V., Andreev Y., Lanskii G., Meshalkin A. // Crystals. 2018. V. 8. P. 310
  4. Yamada I., Matsuo J., Toyoda N., Aoki T., Seki T. // Cur. Opin. Solid State Mater. Sci. 2015. V. 19. P. 12--18
  5. Insepov Z., Hassanein A., Norem J., Swenson D.R. // Nucl. Instr. Meth. B. 2007. V. 261. P. 664-668
  6. Иешкин А.Е., Кушкина К.Д., Киреев Д.С., Ермаков Ю.А., Черныш В.С. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. В. 2. С. 18--23
  7. Duparre A., Ferre-Borrull J., Gliech S., Notni G., Steinert J., Bennett J.M. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 154--171
  8. Wang Y., Zhao Y., Xie X., Hu G., Yang L., Xu Z., Shao J. // Opt. Lett. 2016. V. 41. P. 1534--1537
  9. Korobeishchikov N.G., Penkov O.I. // Vacuum. 2016. V. 125. P. 205--208
  10. Korobeishchikov N.G., Nikolaev I.V., Roenko M.A., Atuchin V.V. // Appl. Phys. A. 2018. V. 124. P. 833
  11. Chkhalo N.I., Kirsanov A.V., Luchinin G.A., Malshakova O.A., Mikhailenko M.S., Pavlikov A.I., Pestov A.E., Zorina M.V. // Appl. Opt. 2018. V. 57. P. 6911--6915
  12. Korobeishchikov N.G., Nikolaev I.V., Roenko M.A. // Nucl. Instr. Meth. B. 2019. V. 438. P. 1--5

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.