Вышедшие номера
Регулярные микроструктуры на основе пленок полиэтилентерефталата
Переводная версия: 10.1134/S1063785019030027
РФФИ, Современные проблемы фотоники инфракрасного диапазона», 18-29-20090
Асадчиков В.Е.1, Бедин С.А.1,2, Васильев А.Б.1, Григорьев Ю.В.1, Назьмов В.П.3
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Московский Педагогический Государственный Университет, Москва, Россия
3Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: asad@crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 12 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Разработан метод формирования регулярных диэлектрических и металлических микроструктур на основе пленок полиэтилентерефталата, облученных на источнике синхротронного излучения через маску с последующим травлением. Для исследования их геометрических параметров использована растровая электронная микроскопия.