Анализ структуры многослойных нанокристаллических покрытий на основе параметров массопереноса плазмы, вычисленных методом Монте-Карло
Черногор А.В.1, Блинков И.В.1, Белов Д.С.1, Сергевнин В.С.1, Волхонский А.О.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: avchernogor@gmail.com
Поступила в редакцию: 29 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.
Представлены результаты моделирования плазменных потоков на поверхность вращающихся подложек при горении вакуумной дуги катодной системы Cr-Ti-Mo. Экспериментально исследованы структура и состав arc-PVD-покрытий Ti0.15Cr0.74Mo0.11N0.84. Проведен анализ результатов численного моделирования структуры покрытий на основе данных, полученных экспериментальным путем. Показана возможность моделирования структуры многослойных, многокомпонентных покрытий и концентрационного распределения химических элементов, его составляющих, с помощью расчета плазменных потоков методом Монте-Карло.
- Akbarzadeh M., Shafyei A., Salimijazi H.R. // Int. J. Eng. Trans. A: Basics. 2014. V. 27. N 7. P. 1127--1132
- Sergevnin V.S., Blinkov I.V., Belov D.S., Volkhonskiy A.O., Skryleva E.A., Chernogor A.V. // Inorg. Mater. 2016. V. 52. N 7. P. 735--742
- Nohava J., Dessarzin P., Karvankova P., Morstein M. // Tribol. Int. (Elsevier). 2015. V. 81. P. 231--239
- Вольпяс В.А., Тумаркин А.В., Михайлов А.К., Козырев А.Б., Платонов Р.А. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 14. С. 87--93
- Блинков И.В., Черногор А.В., Волхонский А.О., Сергевнин В.С., Белов Д.С., Саргаева О.Н. // Неорган. материалы. 2017. Т. 53. N 1. P. 105--114
- Береснев В.М., Соболь О.В., Погребняк А.Д., Гранкин С.С., Столбовой В.А., Турбин П.В., Мейлехов А.А., Арсеенко М.Ю. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 10. С. 70--77
- Inspektor A., Salvador P.A. // Surf. Coat. Technol. 2014. V. 257. P. 138--153
- Погребняк А.Д., Береснев В.М., Бондар О.В., Abadias G., Chartier P., Постольный Б.А., Андреев А.А., Соболь О.В. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 5. С. 59--66
- Соболь О.В., Мейлехов А.А. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 2. С. 56--64
- Chernogor A., Blinkov I., Volkhonskiy A. // Int. J. Comput. Phys. Ser. 2018. V. 1. P. 30--34. DOI: 10.29167/A1I1P30-34
- Eriksson A.O., Zhirkov I., Dahlqvist M., Jensen J., Hultman L., Rosen J. // J. Appl. Phys. 2013. V. 113. N 16. P. 163304
- Zhirkov I., Eriksson A.O., Petruhins A., Dahlqvist M., Ingason A.S., Rosen J. // J. Appl. Phys. 2014. V. 115. N 12. P. 123301
- Zhirkov I., Eriksson A.O. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. N 21. P. 213302
- Месяц Г.А., Баренгольц С.А. // УФН. 2002. Т. 172. N 10. C. 1113--1130
- Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления. М.: Машиностроение, 1999. 309 с
- Вольпяс В.А., Гольман Е.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 3. С. 13-18
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.