"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Переводная версия: 10.1134/S1063785019010231
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Охапкин А.И.1, Краев С.А.1, Лобаев М.А.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Исследуются новые возможности метода вторично-ионной масс-спектрометрии для анализа фазового состава углеродсодержащих материалов. Установлено отличие масс-спектров трех различных фаз углерода: алмаза, алмазоподобного углерода (DLC) и графита. Предложен простой алгоритм количественного определения концентрации различных фаз в двухфазных системах алмаз--графит и DLC--графит, основанный на измерении отношений интенсивностей кластерных вторичных ионов C8/C5 и CsC8/CsC4. Показано формирование неоднородных распределений разных фаз углерода по глубине в структурах алмаза после процесса лазерной резки и в DLC после термического отжига.
  1. Winograd N. // Surf. Interface Anal. 2013. V. 45. N 1. P. 3--8
  2. Niehuis E., Moellers R., Rading D., Bruener P. // Surf. Interface Anal. 2014. V. 46. N S1. P. 70--73
  3. Popczun N.J., Breuer L., Wucher A., Winograd N. // Surf Interface Anal. 2017. V. 49. N 10. P. 933--939
  4. Chatterjee S., Singh B., Diwan A., Lee Z.R., Engelhard M.H., Terry J., Tolley H.D., Gallagher N.B., Linford M.R. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 433. P. 994--1017
  5. Chiba K., Akamatsu T., Kawamura M. // Chem. Phys. Lett. 2006. V. 419. N 4-6. P. 506--510
  6. Staryga E., B ak G.W., Rogowski J., Knapik M., Rylski A., Fabisiak K. // Diamond Relat. Mater. 2007. V. 16. N 4-7. P. 1312--1315
  7. CVD diamond for electronic devices and sensors / Ed. R.S. Sussmann. Wiley, 2009. 596 p
  8. www.ndtcompany.com
  9. Radishev D.B., Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Muchnikov A.B., Yunin P.A., Amosov V.N., Rodionov N.B. // EPJ Web of Conf. 2017. V. 149. P. 02029
  10. Takabayashi S., Okamoto K., Nakatani T. // Surf Interface Anal. 2018. V. 50. N 4. P. 441--447

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.