"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Немонотонное изменение туннельной проводимости МДП-структуры с двухслойным диэлектриком при увеличении его толщины (на примере системы металл/SiO2/CaF2/Si)
Переводная версия: 10.1134/S1063785018120441
Илларионов Ю.Ю.1,2, Банщиков А.Г.1, Соколов Н.С.1, Wachter S.3, Векслер М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт микроэлектроники Технического университета Вены, Вена, Австрия
3Институт фотоники Технического университета Вены, Вена, Австрия
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 24 сентября 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.

Рассматривается представляющийся на первый взгляд парадоксальным эффект увеличения туннельного тока в структуре металл-фторид кальция-кремний при добавлении слоя диоксида кремния между фторидом и металлом. Данный эффект немонотонного изменения туннельной проводимости с ростом толщины диэлектрика может иметь место при относительно высоких смещениях на структуре и связан с деформацией туннельного барьера, при которой туннелирование электронов происходит через его часть, формируемую окислом. При низких смещениях появление/утолщение дополнительного слоя приводит к естественному спаду тока. Аналогичное поведение в принципе возможно и для других сочетаний материалов.
  1. High permittivity gate dielectric materials / Ed. S. Kar. Heidelberg-Berlin: Springer, 2013. 489 p
  2. Sadakuni-Makabe K., Suzuno M., Harada K., Akinaga H., Suemasu T. // Jpn. J. Appl. Phys. 2010. V. 49. N 6R. P. 060212
  3. Векслер М.И., Тягинов С.Э., Илларионов Ю.Ю., Sing Y.K., Shenp A.D., Федоров В.В., Исаков Д.В. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 5. С. 675--683
  4. Tyaginov S.E., Illarionov Yu.Yu., Vexler M.I., Bina M., Cervenka J., Franco J., Kaczer B., Grasser T. // J. Comput. Electron. 2014. V. 13. N 3. P. 733--738
  5. Schenk A., Heiser G. // J. Appl. Phys. 1997. V. 81. N 12. P. 7900--7908
  6. Vexler M.I., Illarionov Yu.Yu., Suturin S.M., Fedorov V.V., Sokolov N.S. // Solid-State Electron. 2011. V. 63. N 1. P. 19--21
  7. Watanabe S., Maeda M., Sugisaki T., Tsutsui K. // Jpn. J. Appl. Phys. 2005. V. 44. N 4B. P. 2637--2641

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.