Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2018, выпуск 15 » Статья стр. 87
<<<>>>
Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке
DOI: 10.21883/PJTF.2018.15.46445.17281
Переводная версия: 10.1134/S1063785018080047
Бобков А.А.1,2, Пронин И.А.1,2, Мошников В.А.1,2, Якушова Н.Д.1, Карманов А.А.1, Аверин И.А.1, Сомов П.А.2, Теруков Е.И.3
1Пензенский государственный университет, Пенза, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: pronin_i90@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.
PDF версия
В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, совместимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки формируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.
  1. Qiang Z., Ma S.Y., Jiao H.Y., Jin W.X., Wang T.T., Jiang X.H., Zhang Z.Y. // Mater. Lett. 2016. V. 181. P. 29-33
  2. Dimitrov D.T., Nikolaev N.K., Papazova K.I., Krasteva L.K., Pronin I.A., Averin I.A., Bojinova A.S., Georgieva A.Ts., Yakushova N.D., Peshkova T.V., Karmanov A.A., Kaneva N.V., Moshnikov V.A. // Appl. Surf. Sci. 2017. V. 392. P. 95-108
  3. Jiao Y., Liu Y., Qu F., Wu X. // Cryst. Eng. Comm. 2014. V. 16. N 4. P. 575-580
  4. Jain R., Pitchumani R. // Solar. Energy Mater. Solar. Cells. 2017. V. 172. P. 213-219
  5. Пронин И.А., Якушова Н.Д., Димитров Д.Ц., Крастева Л.К., Папазова К.И., Карманов А.А., Аверин И.А., Георгиева А.Ц., Теруков Е.И., Мошников В.А. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. В. 18. С. 11-16
  6. Uahabi K.L., Atounti M. // Ann. Univ. Craiova. Mathem. Comput. Sci. Ser. 2015. V. 42. N 1. P. 167-174
  7. Tian Y., Garci a de Arquer F.P., Dinh C.T., Favraud G., Bonifazi M., Li J., Liu M., Zhang X., Zheng X., Kibria G., Hoogland S., Sinton D., Sargent E.H., Fratalocchi A. // Adv. Mater. 2017. V. 29. N 27. P. 1701165
  8. Мошников В.А., Максимов А.И., Александрова О.А., Пронин И.А., Карманов А.А., Теруков Е.И., Якушова Н.Д., Аверин И.А., Бобков А.А., Пермяков Н.В. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 18. С. 81-87
  9. Karthik T.V.K., Martinez L., Agarwal V. // J. Alloys Compd. 2018. V. 731. P. 853-863
  10. Карпова С.С., Мошников В.А., Мякин С.В., Коловангина Е.С. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 3. С. 369-372
  11. Бобков А.А., Лашкова Н.А., Максимов А.И., Мошников В.А., Налимова С.С. // ФТП. 2017. Т. 51. В. 1. С. 63-67
  12. Сюлейман Ш.А., Якушова Н.Д., Пронин И.А., Канева Н.В., Божинова А.С., Папазова К.И., Ганчева М.Н., Димитров Д.Ц., Аверин И.А., Теруков Е.И., Мошников В.А. // ЖТФ. 2017. Т. 87. В. 11. С. 1707-1711
  13. Мошников В.А., Налимова С.С., Селезнев Б.И. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 11. С. 1535-1539
  14. Spivak Yu.M., Myakin S.V., Moshnikov V.A., Panov M.F., Belorus A.O., Bobkov A.A. // J. Nanomater. 2016. V. 2016. P. 2629582
  15. Hagleitner C., Hierlemann A., Lange D., Kummer A., Kerness N., Brand O., Baltes H. // Nature. 2001. V. 414. P. 293-296
  16. Korotcenkov G. // Mater. Sci. Eng. B. 2007. V. 139. N 1. P. 1-23
  17. Safonova O.V., Delabouglise G., Chenevier B., Gaskov A.M., Labeau M. // Mater. Sci. Eng. C. 2002. V. 21. N 1. P. 105-111
  18. Pronin I.A., Averin I.A., Yakushova N.D., Dimitrov D.T., Krasteva L.K., Papazova K.I., Chanachev A.S., Bojinova A.S., Georgieva A.T., Moshnikov V.A. // Sensors Actuators. A: Physical. 2014. V. 206. P. 88-96
  19. Бобков А.А., Максимов А.И., Мошников В.А., Сомов П.А., Теруков Е.И. // ФТП. 2015. Т. 49. В. 10. С. 1402-1406
  20. Wasly H.S., El-Sadek M.A., Henini M. // Appl. Phys. A. 2018. V. 124. N 1. P. 76
  21. Кревчик В.Д., Семенов М.Б., Кревчик П.В. // Изв. вузов. Поволжский регион. Физ.-мат. науки. 2017. N 1(41). С. 92-141

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme