Вышедшие номера
Влияние дипольной поляризации эмитирующей поверхности на пороги автоэмиссии многоострийных кремниевых катодных матриц
Переводная версия: 10.1134/S1063785018070143
РНФ, 16-19-10033
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 30 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.

Исследованы закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости. Показано, что применение фторуглеродной плазмы в процессе структурирования с использованием углеродного масочного покрытия позволяет получать заданные токи автоэмиссии кремниевых катодных матриц при изменении в широком диапазоне напряженностей внешних электрических полей независимо от изменения коэффициентов усиления поля эмиссионных выступов. Установлена превалирующая роль дипольной поляризации при полевой эмиссии электронов в поверхностно модифицированных кремниевых структурах.