"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние дипольной поляризации эмитирующей поверхности на пороги автоэмиссии многоострийных кремниевых катодных матриц
Переводная версия: 10.1134/S1063785018070143
РНФ, 16-19-10033
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 30 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.

Исследованы закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости. Показано, что применение фторуглеродной плазмы в процессе структурирования с использованием углеродного масочного покрытия позволяет получать заданные токи автоэмиссии кремниевых катодных матриц при изменении в широком диапазоне напряженностей внешних электрических полей независимо от изменения коэффициентов усиления поля эмиссионных выступов. Установлена превалирующая роль дипольной поляризации при полевой эмиссии электронов в поверхностно модифицированных кремниевых структурах.
  1. Marcus R.B., Ravi T.S., Gmitter T., Chin K., Liu D., Orvis W.J., Ciarlo D.R., Hunt C.E., Trujillo J. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56. N 3. P. 236--238
  2. Яфаров Р.К. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 4. С. 529--534
  3. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. 490 с
  4. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. // ФТП. 2017. Т. 51. В. 4. С. 558--562
  5. Fowler R.H., Nordheim L.W. // Proc. Roy. Soc. Lond. A. 1928. V. 119. N 781. P. 173--181
  6. Усанов Д.А., Яфаров Р.К. Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода. Саратов: Саратов. гос. ун-т, 2011. 126 с
  7. Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.