"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Ближний порядок, транспорт заряда в SiOx: эксперимент и численное моделирование
Переводная версия: 10.1134/S1063785018060196
Гриценко В.A.1,2,3, Новиков Ю.Н.1, Сhin A.4
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
4National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, Republic of China
Email: grits@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 1 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.

Изучается строение нестехиометрического оксида кремния (SiOx) с использованием высокоразрешающей рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектров фундаментального поглощения. Исследована проводимость пленок SiOx (x=1.4, 1.6) в широком диапазоне электрических полей и температур. Для описания экспериментальных данных предложена модель строения SiOx, основанная на флуктуациях химического состава, которые ведут к наномасштабным флуктуациям потенциала. Максимальная амплитуда флуктуаций потенциала для электронов составляет 2.6 eV, а для дырок --- 3.8 eV. В рамках предложенной модели для описания проводимости SiOx использована теория протекания в неоднородных средах Шкловского-Эфроса. Характерный масштаб флуктуаций потенциала в пленках SiOx равен 3 nm. Оценена энергия протекания электронов в пленках SiO1.4 и SiO1.6, которая составила 0.5 и 0.8 eV соответственно.
  1. Kistner J., Schubert M.B. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. N 19. P. 193505 (1--6)
  2. Hernandez S., Miska P., Grun M., Estrade S., Peiro F., Garrido B., Vergnat M., Pellegrino P. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. N 23. P. 233101 (1--6)
  3. Feldmann F., Nicolai M., Muller R., Reichel C., Hermle M. // Energy Procedia. 2017. V. 124. P. 31--37
  4. Duy N.V., Jung S., Kim K., Son D.N., Nga N.T., Cho J., Choi B., Yi J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. V. 43. N 7. P. 075101 (1--5)
  5. Mehonic A., Vrajitoarea A., Cueff S., Hudziak S., Howe H., Labbe C., Rizk R., Pepper M., Kenyon A.J. // Sci. Rep. 2013. V. 3. P. 1--8
  6. Гриценко В.А. // УФН. 2008. Т. 178. N 7. C. 727--737
  7. Powell J.P., Morad M. // J. Appl. Phys. 1978. V. 49. N 4. P. 2499--2502
  8. Шкловский Б.И. // ФТП. 1979. Т. 13. В. 1. С. 93--97
  9. Islamov D.R., Gritsenko V.A., Cheng C.H., Chin A. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 105. N 26. P. 262903 (1--3)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.