"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе
Переводная версия: 10.1134/S1063785018060202
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), А Инициативный , 16-02-00227
Исмаилов А.М. 1, Эмирасланова Л.Л.1, Рабаданов М.Х. 1, Рабаданов М.Р.1, Алиев И.Ш.1
1Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
Email: egdada@mail.ru, leyla_emiraslanova@mail.ru, rab_mur@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.

Представлены результаты процесса получения высокоориентированных пленок ZnO на аморфных подложках с высокими скоростями роста (7 nm/s) методом магнетронного распыления на постоянном токе. На основе выполненной оптимизации местоположения подложки относительно магнетрона предложено рассматривать плавающий потенциал, до которого заряжается подложка в плазме магнетронного разряда, в качестве одного из основных технологических параметров. Исследование структурных характеристик методом электронографии показало, что с ростом температуры подложки наблюдается трансформация формы кристаллитов от пластинчатой к столбчатой.
  1. Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах: материалы, технология, конструкция, применения. Пер. с чешск. М.: Мир, 1990. 584 с
  2. Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н. Пленочные пьезоэлектрики. М.: Радио и связь, 1986. 136 с
  3. Subramanyam T.K., Srinivasulu N.B., Uthanna S. // Opt. Mater. 1999. V. 13. N 2. P. 239--247
  4. Daugela J., Joneliunas S., Jotautis A., Naujokaitis R., Klovaite E. // Elektronika ir Elektrotechnika. 2005. V. 63. N 7. P. 70--73
  5. Subba Reddy R., Sreedhar A., Sivasankar Reddy A., Uthannal S. // Adv. Mater. Lett. 2012. V. 3. N 3. Р. 239--245
  6. Singh S., Ganguli T., Kumar R., Srinivasa R.S., Major S.S. // Thin Solid Films. 2008. V. 517. P. 661--669
  7. Hata T., Minamikava T., Marimoto O., Hada T. // J. Cryst. Growth. 1979. V. 47. P. 171--176
  8. Nomoto J., Hirano T., Miyata T., Minami T. // Thin Solid Films. 2011. V. 520. Р. 1400--1406
  9. Fu Y.Q., Luo J.K., Du X.Y., Flewitt A.J., Li Y., Markx G.H., Walton A.J., Milne W.L. // Sensors Actuators B: Chemical. 2010. V. 143. P. 606--619
  10. Singh J., Ranwa S., Akhtar J., Kumar M. // AIP Adv. 2015. V. 5. P. 067140
  11. Panjan M., Anders A. // J. Appl. Phys. 2017. V. 121. P. 063302

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.