"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Создание пористых слоев германия имплантацией ионами серебра
Переводная версия: 10.1134/S1063785018040260
Степанов А.Л.1,2, Воробьев В.В.2, Нуждин В.И.1, Валеев В.Ф.1, Осин Ю.Н.2
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Междисциплинарный центр "Аналитическая микроскопия" Казанского федерального университета, Казань, Россия
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 3 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Предлагается методика формирования слоев пористого германия (P-Ge) с наночастицами Ag, основанная на низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла монокристаллического германия (c-Ge). Для ее демонстрации проведена имплантация ионами Ag+ полированной пластины c-Ge с энергией 30 keV при дозе 1.5· 1017 ion/cm2 и плотности тока в ионном пучке 5 muA/cm2. Методами высокоразрешающей сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии, а также рентгеноспектрального микрозондового анализа и дифракции отраженных электронов показано, что в результате проведенной имплантации на поверхности c-Ge формируется пористый аморфный слой P-Ge губчатой структуры, состоящей из сетки пересекающихся нанонитей, средний диаметр которых составляет ~ 10-20 nm. На концах нитей прослеживается образование наночастиц Ag. Также установлено, что формирование пор при проведении имплантации ионами Ag+ сопровождается эффективным распылением поверхности Ge.
  1. Donovan T.M., Heinemann K. // Phys. Rev. Lett. 1971. V. 27. P. 1794--1796
  2. Rojas E.G., Hensen J., Carstensen J., Foll H., Brendel R. // ESC Transact. 2011. V. 33. P. 95--102
  3. Fkamand G., Poortmans J., Dessein K. // Phys. Status Solidi C. 2005. V. 9. P. 3243--3247
  4. Shieh J., Chen H.L., Ko T.S., Cheng H.C., Chu T.C. // Adv. Mater. 2004. V. 16. P. 1121--1124
  5. Jing C., Zhang C., Zang X., Zhou W., Bai W., Lin T., Chu J. // Sci. Technol. Adv. Mater. 2009. V. 10. P. 65001 (1-6)
  6. Kartopu G., Bayliss S.C., Hummel R.E., Ekinci Y. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. P. 3466--3472
  7. Wilson I.H. // J. Appl. Phys. 1982. V. 53. P. 1698--1705
  8. Bottger R., Heinig K.-H., Bischoff L., Liedke B., Facsko S. // Appl. Phys. A. 2013. V. 113. P. 53--59
  9. Polman A. // Science. 2008. V. 322. P. 868--869
  10. Atwater H., Polman A. // Nature Mater. 2010. V. 9. P. 205--213
  11. Kreibig U., Volmer M. Optical properties of metal clusters. Berlin: Springer, 1995. 535 p
  12. Степанов А.Л. Фотонные среды с наночастицами, синтезированные ионной имплантацией. Саарбрюккен: Lambert Acad. Publ., 2014. 354 с
  13. Cavalcoli A., Fraboni B., Impellizzeri G., Romano L., Scavetta E., Grimaldi M.G. // Microporous Mesoporous Mater. 2014. V. 196. P. 175--178
  14. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The stopping and range of ions in solids. N.Y.: Pergamon Press, 1985. 321 p
  15. Romano L., Impellizzeri G., Tomasello M.V., Giannazzo F., Spinella C., Grimaldi M.G. // J. Appl. Phys. 2010. V. 107. P. 84314 (1-5)
  16. Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Kavetskyy T.S., Osin Y.N. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2015. V. 40. P. 155--164
  17. Баталов Р.И., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Баязитов Р.М., Лядов Н.М., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. // ЖТФ. 2016. Т. 86. B. 12. С. 104--110
  18. Никитенков Н. Процессы при взаимодействии ионов с поверхностью. Саарбрюккен: Lambert Acad. Publ., 2011. 328 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.