Вышедшие номера
Генерация носителей заряда в пленках кремний--германий, сильно легированных титаном, при их однородном нагреве
Переводная версия: 10.1134/S106378501804020X
Кучканов Ш.К.1, Ашуров Х.Б.1
1Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Email: sher.kurbonov@inbox.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Представлены результаты наблюдения генерации носителей заряда и появления эдс на однородно нагреваемых сильно легированных титаном кремний-германиевых пленках n-типа, полученных осаждением из газовой фазы на кремниевые подложки p-типа. Максимальные значения эдс ~ 3 mV отмечены в диапазоне температур 500-600 K при темновом токе короткого замыкания ~ 0.5-1 muA, величина которого растет с увеличением температуры и достигает ~ 3 muA при 800 K.