"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Новое ограничение разрешения по глубине при послойном элементном анализе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии: влияние зондирующего ионного пучка
Переводная версия: 10.1134/S1063785018040181
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Новиков А.В.1,2, Юнин П.А.1,2, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 30 августа 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Получены новые данные о влиянии зондирующего пучка ионов висмута на разрешение по глубине при послойном анализе методом вторично-ионной масс-спектрометрии на установке TOF.SIMS-5, использующей принцип двух ионных пучков. Показано, что существующий критерий неразрушающего характера зондирующего пучка, лежащий в основе этого принципа, является недостаточным, установлены дополнительные процессы, которые необходимо учитывать для формулировки более точного критерия. Предложен режим послойного анализа, позволяющий повысить разрешение по глубине при низкой энергии распыляющих ионов.
  1. Surface analysis: the principal techniques / Eds J. C. Vickerman, I.S. Gilmore. 2nd ed. John Wiley \& Sons, 2009. 686 p
  2. Grehl T., Mollers R., Niehuis E. // Appl. Surf. Sci. 2003. V. 203-204. P. 277--280
  3. Vandervorst W. // Appl. Surf. Sci. 2008. V. 255. P. 805--812
  4. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Drozdov M.N., Polushkin N.I., Salashchenko N.N. // Thin Solid Films. 1995. V. 263. P. 169--174
  5. Дpоздов М.Н., Данильцев В.М., Дpоздов Ю.Н., Мастеpов Д.В., Хpыкин О.И., Шашкин В.И. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 18. С. 61--66
  6. Востоков Н.Н., Дроздов М.Н., Мастеров Д.В., Салащенко Н.Н., Прохоров К.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2001. N 1. С. 43--47
  7. Бер Б.Я., Коварский А.П., Казанцев Д.Ю., Трушин Ю.В., Журкин Е.Е., Шмидт А.А., Белых С.Ф. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. В. 19. С. 80--86
  8. Hofmann S., Han Y.S., Wang J.Y. // Appl. Surf. Sci. 2017. V. 410. P. 354--362
  9. Моисеев К.Д., Неведомский В.Н., Kudriavtsev Yu., Escobosa-Echavarria A., Lopez-Lopez M. // ФТП. 2017. Т. 51. В. 9. С. 1189--1195
  10. Sputtering by particle bombardment // Eds R. Behrisch, W. Eckstein. Berlin: Springer, 2007. 509 p
  11. Yunin P.A., Drozdov Yu.N., Drozdov M.N., Yurasov D.V. // Appl. Surf. Sci. 2014. V. 307. P. 33--41
  12. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Новиков А.В., Юнин П.А., Юрасов Д.В. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 8. С. 1138--1146

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.