Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа
Плюснин Н.И.1, Маслов А.М.1
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток, Россия
Email: plusnin@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 4 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.
С помощью атомно-силовой микроскопии на воздухе в нанофазном смачивающем слое Cu2Si на подложке Si(001) селективно активирован фазовый переход в более стабильный силицид Cu. Этот переход сопровождался увеличением латерального размера зерен, их высоты и уменьшением их плотности. Полученный эффект может быть использован для формирования упорядоченных ансамблей наноостровков и нанолитографии. DOI: 10.21883/PJTF.2018.05.45703.16950
- Marimuthu A., Zhang J., Linic S. // Science. 2013. V. 339. P. 1590--1593
- Frank F.C., Van der Merwe J.H. // Proc. Roy. Soc. Lond. A. 1949. V. 198. P. 216--225
- Болховитянов Ю.Б., Пчеляков О.П., Чикичев С.И. // УФН. 2001. V. 171. C. 689--715
- Dupraz M., Poloni R., Ratter K., Rodney D., De Santis M., Gilles B., Beutier G., Verdier M. // Phys. Rev. B. 2016. V. 94. P. 235427
- Роберте Д., Паунд Г.М. // Новое в исследовании поверхности твердого тела / Под ред. Т. Джайядевайя, Р. Ванселова. М.: Мир, 1977. C. 82
- Плюснин Н.И. // Вестн. ДВО РАН. 2016. N 4 (188). C. 27--35
- Плюснин Н.И., Тарима Н.И., Ильященко В.М., С.А. Китань С.А. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 7. С. 48--55
- Плюснин Н.И., Ильященко В.М., Китань С.А., Тарима Н.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 8. C. 29--40
- Латышев А.В., Насимов Д.А., Щеглов Д.В. // Вестн. НГУ. Сер. Физика. 2009. Т. 4. В. 1. С. 47--55
- Rodriguez J.A., Liu P., Wang X., Wen W., Hanson J., Hrbek J., Perez M., Evans J. // Catalys. Today. 2009. V. 143. P. 45--50
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.