Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия 
Email: mitindm@mail.ru
Поступила в редакцию: 31 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.
Приведены результаты теоретических расчетов доли нерассеянных распыленных атомов при магнетронном распылении. Экспериментально полученная зависимость скорости роста пленок кремния от давления обнаруживает корреляцию с теоретически рассчитанной зависимостью доли нерассеянных распыленных атомов. Увеличение давления в рассматриваемом диапазоне 1.5-8.5 mTorr приводит к снижению скорости роста пленок кремния на 25%, при этом уменьшение доли нерассеянных распыленных атомов на расстоянии катод-подложка достигает 90%. DOI: 10.21883/PJTF.2017.17.44950.16804
- Пресняков М.Ю., Сладкопевцев Б.В., Белоногов Е.К. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 23. С. 58--65
- Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Работкин С.В. // Физика плазмы. 2009. Т. 35. N 5. С. 443--452
- Рогов А.В., Капустин Ю.В., Мартыненко Ю.В. // ЖТФ. 2015. Т. 85. В. 2. С. 126--134
- Volpyas V.A., Komlev A.Y., Platonov R.A., Kozyrev A.B. // Phys. Lett. A. 2014. V. 378. Iss. 43. P. 3182--3184
- Shon C.H., Lee J.K. // Appl. Surf. Sci. 2002. V. 192. Iss. 1--4. P. 258--269
- Шешин Е.П. Вакуумные технологии: учебное пособие. Долгопрудный: Интеллект, 2009. 504 с
- Thompson M.W. // Vacuum. 2002. V. 66. Iss. 2. P. 99--114
- Корнющенко А.С., Перекрестов В.И., Наталич В.В., Загайко И.В. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. В. 4. С. 94--101
- Митин Д.М., Сердобинцев А.А. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 9. С. 1276--1278
- Митин Д.М., Александров В.А., Скапцов А.А., Вениг С.Б., Сердобинцев А.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. N 6. С. 1--4
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
