"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления
Митин Д.М.1, Сердобинцев А.А.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: mitindm@mail.ru
Поступила в редакцию: 31 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.

Приведены результаты теоретических расчетов доли нерассеянных распыленных атомов при магнетронном распылении. Экспериментально полученная зависимость скорости роста пленок кремния от давления обнаруживает корреляцию с теоретически рассчитанной зависимостью доли нерассеянных распыленных атомов. Увеличение давления в рассматриваемом диапазоне 1.5-8.5 mTorr приводит к снижению скорости роста пленок кремния на 25%, при этом уменьшение доли нерассеянных распыленных атомов на расстоянии катод-подложка достигает 90%. DOI: 10.21883/PJTF.2017.17.44950.16804
  • Пресняков М.Ю., Сладкопевцев Б.В., Белоногов Е.К. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 23. С. 58--65
  • Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Работкин С.В. // Физика плазмы. 2009. Т. 35. N 5. С. 443--452
  • Рогов А.В., Капустин Ю.В., Мартыненко Ю.В. // ЖТФ. 2015. Т. 85. В. 2. С. 126--134
  • Volpyas V.A., Komlev A.Y., Platonov R.A., Kozyrev A.B. // Phys. Lett. A. 2014. V. 378. Iss. 43. P. 3182--3184
  • Shon C.H., Lee J.K. // Appl. Surf. Sci. 2002. V. 192. Iss. 1--4. P. 258--269
  • Шешин Е.П. Вакуумные технологии: учебное пособие. Долгопрудный: Интеллект, 2009. 504 с
  • Thompson M.W. // Vacuum. 2002. V. 66. Iss. 2. P. 99--114
  • Корнющенко А.С., Перекрестов В.И., Наталич В.В., Загайко И.В. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. В. 4. С. 94--101
  • Митин Д.М., Сердобинцев А.А. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 9. С. 1276--1278
  • Митин Д.М., Александров В.А., Скапцов А.А., Вениг С.Б., Сердобинцев А.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. N 6. С. 1--4
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.