Особенности перемещения расплавленных зон в поле структурной неоднородности кремния
Скворцов А.А.1, Зуев С.М.1, Корячко М.В.1, Волошинов Е.Б.1
1Московский политехнический университет
Email: SkvortsovAA2009@yandex.ru
Поступила в редакцию: 5 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.
Рассмотрены формирование и динамика расплавленных включений Al-Si в кремнии (в диапазоне температур 1123-1273 K) в поле градиента концентрации дислокаций. Обнаружено, что расплавленное включение перемещается как целое по механизму "плавление-кристаллизация": в области с большей концентрацией дислокаций на фронтальной границе наблюдается растворение, а в области с меньшей, на тыльной стороне, - кристаллизация. Экспериментально зафиксированы скорости и энергии активации процесса миграции. Показано, что лимитирующей стадией миграции включений являются процессы плавления-кристаллизации на межфазных границах расплава с матрицей. DOI: 10.21883/PJTF.2017.15.44869.16814
- Abe T., Takahashi T., Shirai K. // J. Cryst. Growth. 2017. V. 459. P. 87--94
- Talanin V.I., Talanin I.E., Ustimenko N.P. // Crystallogr. Reports. 2012. V. 57. Iss. 7. P. 898--902
- Грабов В.М., Комаров В.А., Каблукова Н.С. и др. // Письма в ЖТФ. 2015. Т. 41. В. 1. С. 20--27
- Demireva D., Ziffudin L., Barbova M. // Semicond. Sci. Technol. 1998. V. 13. Iss. 11. P. 1290--1293
- Skvortsov A.A., Zuev S.M., Koryachko M.V., Glinskiy V.V. // Microelectron. Int. 2016. V. 33. Iss. 2. P. 102--106
- Скворцов А.А., Каленков С.Г., Корячко М.В. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 18. С. 24--32
- Дзюба А.С. // ФТТ. 1977. Т. 19. V. 1. С. 78--82
- Costa I., Brito M.C., Gaspar G. et al. // Semicond. Sci. Technol. 2013. V. 28 (12). Р. 125023 (1--6)
- Eslamian M., Saghir M.Z. // Int. J. Therm. Sci. 2011. V. 50. Iss. 7. P. 1232--1242
- Wang Y., Kakimoto K. // J. Cryst. Growth. 2003. V. 247. Iss. 1-2. P. 1--12
- Skvortsov A.A., Khripach N.A., Zaletov D.V., Pshonkin D.E. // Res. J. Pharmaceut. Biol. Chem. Sci. 2016. V. 7. Iss. 6. P. 998--1003
- Гегузин Я.Е., Кривоглаз М.А. Движение макроскопических включений в твердых телах. М.: Металлургия, 1971. 344 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.