"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Фазовый состав тонких пленок оксида олова, газочувствительных при температуре, близкой к комнатной
Махди О.С.1,2, Маляр И.В.1, Захаревич А.М.1, Смирнов А.В.1, Синёв И.В.1, Вениг С.Б.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
2Al-Muthanna University, Samawah, Iraq
Email: imalyar@yandex.ru
Поступила в редакцию: 23 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2017 г.

Исследован фазовый состав тонких поликристаллических пленок оксида олова на кремниевых подложках, полученных методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления и обладающих чувствительностью к парам этанола при 38oC. Было установлено, что они состоят из кристаллов SnO2 со средним размером порядка 7 nm, покрытых нанометровым слоем аморфной фазы SnO. Также было установлено, что объемное содержание первой фазы составляет порядка 95%, а второй фазы --- 5%. Проведенный расчет текстуры показал, что имеется преимущественный рост кристаллов SnO2 вдоль кристаллографических направлений < 110>, < 211> и < 310> перпендикулярно подложке. DOI: 10.21883/PJTF.2017.14.44822.16630
  1. Das S., Jayaraman V. // Prog. Mater. Sci. 2014. V. 66. P. 112--255
  2. Lu F., Liu Y., Dong M., Wang X.P. // Sens. Actuators. B. 2000. V. 66. P. 225--227
  3. Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И. // ФТП. 2001. Т. 35. С. 796--800
  4. Lin Q., Li Y., Yang M. // Sens. Actuators B: Chemical. 2012. Т. 173. С. 139--147
  5. Manjula P., Arunkumar S., Manorama S.V. // Sens. Actuators. B: Chem. 2011. V. 152. P. 168--175
  6. Wang K., Zhao T., Lian G. et al. // Sens. Actuators. B: Chem. 2013. V. 184. P. 33--39
  7. Korotcenkov G. Handbook of Gas Sensor Materials: Properties, Advantages and Shortcomings for Applications. V. 2: New Trends and Technologies. Springer Science \& Business Media, 2013
  8. Song K.H., Park S.J. // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 1993. V. 4. N 4. P. 249--253
  9. Вениг С.Б., Махди О.С., Маляр И.В. и др. // Изв. Саратов. ун-та. Новая серия. Сер. Физика. 2015. Т. 15. N 4. С. 17--21
  10. Sen S.K., Sen S., Bauer C.L. // Thin Solid Films. 1981. V. 82. N 2. P. 157--164

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.