Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2017, выпуск 11 » Статья стр. 63
<<<>>>
Морфология и внутренняя структура тонких пленок оксида олова, газочувствительных к парам этанола при температуре, близкой к комнатной
DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44698.16597
Mahdi O.S.1,2, Маляр И.В.1, Галушка В.В.1, Смирнов А.В.1, Синёв И.В.1, Вениг С.Б.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
2Al-Muthanna University, Samawah, Iraq
Email: imalyar@yandex.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.
PDF версия
Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были получены тонкие пленки оксида олова. Было показано, что они обладают газочувствительностью к парам этанола при 38oC. Измерения морфологии и внутренней структуры скола образцов методами атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии позволили установить, что пленки состоят из наноразмерных зерен стержневидной формы, ориентированных перпендикулярно подложке. Зерна разделены порами, пронизывающими пленку на всю толщину. Было установлено, что распределение зерен по их диаметру является нормальным логарифмическим и имеет несколько центров, которые соотносятся как малые целые числа, что свидетельствует о срастании зерен между собой. Минимальный размер зерна в 6 nm может соответствовать критическому размеру зародыша при выбранных условиях осаждения пленок. DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44698.16597
  1. Das S., Jayaraman V. // Prog. Mater. Sci. 2014. V. 66. P. 112--255
  2. Batzill M., Diebold U. // Prog. Surf. Sci. 2005. V. 79. N 2. P. 47--154
  3. Seal S., Shukla S. // JOM. 2002. V. 54. N 9. P. 35--38
  4. Choi K.J., Jang H.W. // Sensors. 2010. V. 10. N 4. P. 4083--4099
  5. Llobet E. // Sens. Actuat. B: Chemical. 2013. V. 179. P. 32--45
  6. Arafat M.M. et al. // Sensors. 2012. V. 12. N 6. P. 7207--7258
  7. Rembeza S., Voronov P., Rembeza E. // Sens. Transducers J. 2010. V. 122. P. 46--54
  8. Sberveglieri G. et al. // Sens. Actuat. B: Chemical. 1992. V. 8. N 1. P. 79--88
  9. Anders A. // Thin Solid Films. 2010. V. 518. N 15. P. 4087--4090
  10. Синев И.В. Температурная зависимость сопротивления тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук. Саратов, 2014. 18 с
  11. Симаков В.В., Синев И.В., Смирнов А.В. // Нанотехника. 2011. N 3. С. 45--46
  12. Palmer J.E., Thompson C.V., Smith H.I. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. N 6. P. 2492--2497

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme