Вышедшие номера
Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора
Степанов А.Л.1,2,3, Нуждин В.И.1, Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Валеев В.Ф.1, Воробьев В.В.2, Осин Ю.Н.2
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Казанский федеральный университет, Казань, Россия
3Казанский национальный исследовательский технологический университет
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 23 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44185.16385