Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов
Иешкин А.Е.
1, Кушкина К.Д.
1, Киреев Д.С.
1, Ермаков Ю.А.
2, Черныш В.С.
1,21Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 16 августа 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Проведено исследование влияния облучения газовыми кластерными ионами на топографию поверхности карбида кремния и алмаза. С помощью атомно-силовой микроскопии показано, что воздействие на эти материалы кластерных ионов с энергией 10 keV и дозами более 1016 cm-2 приводит к сглаживанию рельефа поверхности. Приведены оценки скорости травления и эффективности сглаживания рельефа в зависимости от толщины удаленного слоя вещества. С помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света продемонстрировано отсутствие дефектов, вносимых облучением кластерными ионами в объем мишени. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459
- Лебедев А.А., Давыдов С.Ю., Сорокин Л.М., Шахов Л.В. // Письма в ЖТФ. 2015. Т. 41. В. 23. С. 89--94. [ Lebedev A.A. et al. // Tech. Phys. Lett. 2015. V. 41. N 12. P. 1156--1158]
- Вавилов В.С. // УФН. 1997. Т. 167. N 1. С. 17--22. [ Vavilov V.S. // Phys. Usp. 1997. V. 40. P. 15--20]
- Kubota A., Fukuyama S., Ichimori Y., Touge M. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 59--62. [ Kubota A. et al. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 59--62]
- Andreev A.A., Chernysh V.S., Ermakov Yu.A., Ieshkin A.E. // Vacuum. 2013. V. 91. P. 47--53. [ Andreev A.A. et al. // Vacuum. 2013. V. 91. P. 47--53]
- Fathy D., Holland O.W., Liu R. et al. // Mater. Lett. 2000. V. 44. P. 248--252. [ Fathy D. et al. // Mater. Lett. 2000. V. 44. P. 248--252]
- Toyoda N., Hagiwara N., Matsuo J., Yamada I. // Nucl. Instr. Meth. B. 1999. V. 148. P. 639--644. [ Toyoda N. et al. // Nucl. Instr. Meth. B. 1999. V. 148. P. 639--644]
- Иешкин А.Е., Шемухин А.А., Ермаков Ю.А., Черныш В.С. // ВМУ. Сер. 3. 2016. N 1. C. 72--76. [ Ieshkin A.E. et al. // Moscow University Physics Bulletin. 2016. V. 71. N 1. P. 87--90]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
