Вышедшие номера
Особенности зарядовой нейтрализации карбида кремния при спекании электронным пучком в форвакуумной области давлений
Климов А.С.1, Бурдовицин В.А.1, Зенин А.А.1, Окс Е.М.1,2, Хасанов О.Л.3, Двилис Э.С.3, Хасанов А.О.3
1Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
3Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
Email: burdov@fet.tusur.ru
Поступила в редакцию: 6 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Показано, что при электронно-лучевом спекании компактов из карбида кремния по мере роста температуры образца заметную роль в процессах нейтрализации заряда электронного пучка играет электропроводность спекаемого образца, а также термоэлектронная эмиссия с его поверхности. По результатам эксперимента для компакта карбида кремния определены ширина запрещенной зоны и работа выхода электронов.