"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением
Зорина М.В.1, Зуев С.Ю.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Полковников В.Н.1,2, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 14 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Показана возможность повышения эффективности первого порядка дифракции (до 10 раз) дифракционных решеток-эшелеттов из стекла Ф1 в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах длин волн за счет полировки поверхности штриха нейтрализованными ионами Ar с энергией 1250 eV. Обработка осуществляется при нормальном падении ионов на поверхность образца и съеме материала на уровне 80-300 nm. Предложен принцип оптимизации параметров процесса ионно-пучкового травления для решения конкретных задач по планаризации микроструктур с различными латеральными размерами.
  • Лукирский А.П., Брытов И.А., Комяк Н.И. // Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л.: Машиностроение, 1967. В. 2. С. 4--19
  • Krumrey M., Kuhne M., Muller P. et al. // SPIE. 1991. V. 1547. P. 136--142
  • Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E. et al. // Opt. Express. 2014. V. 22. Iss. 17. P. 20 094--20 106
  • Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Rev. Sci. Instrum. 2015. V. 86. P. 016 102
  • Забродин И.Г., Закалов Б.А., Каськов И.А. и др. // Поверхность. 2013. N 9. С. 109--112
  • Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S. et al. // Appl. Opt. 2016. V. 55. N 6. P. 1249--1256
  • Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Зуев С.Ю. и др. // Поверхность. 2003. N 1. С. 70--77
  • Догадин В.О., Зуев С.Ю., Салащенко Н.Н. // Поверхность. 2015. N 7. С. 77--86
  • Chkhalo N.I., Gaikovich P.K., Salashchenko N.N. et al. // Thin Solid Films. 2016. V. 598. P. 156--160
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.