Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 14 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.
Показана возможность повышения эффективности первого порядка дифракции (до 10 раз) дифракционных решеток-эшелеттов из стекла Ф1 в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах длин волн за счет полировки поверхности штриха нейтрализованными ионами Ar с энергией 1250 eV. Обработка осуществляется при нормальном падении ионов на поверхность образца и съеме материала на уровне 80-300 nm. Предложен принцип оптимизации параметров процесса ионно-пучкового травления для решения конкретных задач по планаризации микроструктур с различными латеральными размерами.
- Лукирский А.П., Брытов И.А., Комяк Н.И. // Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л.: Машиностроение, 1967. В. 2. С. 4--19
- Krumrey M., Kuhne M., Muller P. et al. // SPIE. 1991. V. 1547. P. 136--142
- Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E. et al. // Opt. Express. 2014. V. 22. Iss. 17. P. 20 094--20 106
- Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Rev. Sci. Instrum. 2015. V. 86. P. 016 102
- Забродин И.Г., Закалов Б.А., Каськов И.А. и др. // Поверхность. 2013. N 9. С. 109--112
- Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S. et al. // Appl. Opt. 2016. V. 55. N 6. P. 1249--1256
- Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Зуев С.Ю. и др. // Поверхность. 2003. N 1. С. 70--77
- Догадин В.О., Зуев С.Ю., Салащенко Н.Н. // Поверхность. 2015. N 7. С. 77--86
- Chkhalo N.I., Gaikovich P.K., Salashchenko N.N. et al. // Thin Solid Films. 2016. V. 598. P. 156--160
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
