"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Формирование микрорельефа методом термического окисления пленок молибдена
Казанский Н.Л.1,2, Моисеев О.Ю.1, Полетаев С.Д.1,2
1Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Email: sergpolet@gmail.com
Поступила в редакцию: 25 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.

Исследуется возможность формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов путем термического окисления тонких пленок молибдена. Показано, что в процессе термического окисления прирост толщины исходной пленки может достигать трехкратного значения. При этом сохраняется оптическое качество поверхности.
  1. Ihlemann J., Schafer D. // Appl. Surf. Science. 2002. V. 197--198. P. 856--861
  2. Черниенко А.В., Астрова Е.В., Жарова Ю.А. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 22. С. 17--24
  3. Dekker J., Kolari K., Puurunen R.L. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2006. V. 24(5). P. 2350--2355
  4. Fuhua Z., Yongjun X., Sulian X., Gang L., Shiping H., Shaojun F. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 6. С. 1--12
  5. Авдеенко А.П., Поляков А.Е., Юсина А.Л., Гончарова С.А. Коррозия и защита металлов: Справ. пособие. Краматорск: ДГМА, 2004. 112 с
  6. Методы компьютерной оптики / Под ред. В.А. Сойфера. М.: Физматлит, 2003. 688 с
  7. Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д. // ЖТФ. 2015. Т. 85. В. 2. С. 107--111
  8. Семенова И.В., Флорианович Г.М., Хорошилов А.В. Коррозия и защита от коррозии. М.: Физматлит, 2002. 336 с
  9. Горшунова В.П., Цветкова Т.Н. // Вестник Брянского государственного технического университета. 2008. Т. 18. N 2. С. 66--68

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.