Тонкопленочный кремниевый магниточувствительный полевой транзистор холловского типа с расширенным до 350oC диапазоном рабочих температур
Леонов А.В., Малых А.А., Мордкович В.Н., Павлюк М.И.
Поступила в редакцию: 4 августа 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2015 г.
Рассматривается магниточувствительный элемент, представляющий собой комбинацию тонкопленочного Si-транзистора со встроенным каналом, изготовленного по технологии "кремний на изоляторе", и элемента Холла. Транзистор имеет двухзатворную управляющую полевую систему типа металл-диэлектрик-полупроводник-диэлектрик-металл. Он функционирует в режиме обогащения канала носителями тока при частичном обеднении областей пленки Si, прилегающих к каналу. Показано, что прибор функционирует до температур порядка 350oC (что на 160-180oC выше, чем у элемента Холла, изготовленного на основе объемных кристаллов Si) и не уступает по этому параметру элементам Холла на основе широкозонных полупроводников.
- Бараночников М.Л. Микромагнитоэлектроника. М.: изд. ДМК, 2014. Т. 2. 887 c
- Baranochnikov M.L. et al. // Instrum. Exp. Tech. 2012. V. 55. N 6. P. 701--708
- Mordkovich V.N., Baranochnikov M.L., Leonov A.V. et al. // Vienna. Tech. Univ. Publ. EMSA-2014. Book of Abstracts. P. 34
- Koide S., Takashi H., Abderrahmane A. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2012. V. 352-1. P. 012--009
- Iankowski I., El-Amar S., Oszwaldowski M. // Sensor. 2011. V. 11. P. 876--885
- Schmidt A., Kappat H., Kokozhinski R. // J. Microelectron. Electronics Packaging. 2013. V. 10. N 4. P. 171--192
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук