"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
CVD-рост углеродных нанотрубок на тонкопленочном катализаторе из сплава Ni20Ti35N45
Громов Д.Г.1, Павлов А.А.2, Скорик С.Н.3, Трифонов А.Ю.4, Шулятьев А.С.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
3НПК Технологический центр", Москва, Зеленоград
4НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград
Поступила в редакцию: 8 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Продемонстрирована возможность формирования массивов углеродных нанотрубок на каталитическом сплаве Ni-Ti-N с низким содержанием никеля методом химического осаждения из газовой фазы. Добавление азота в состав сплава Ni-Ti способствует образованию соединения TiN и выдавливанию Ni на поверхность, на которой он оказывает каталитическое действие при росте УНТ. Показано, что при использовании ацетилена и температуре подложки 650oC вырастает массив УНТ высотой 9 mum в течение 2 min.
  1. Iijima S. // Nature. 1991. V. 354. P. 56--58
  2. Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Avouris P. // Topics Appl. Phys. 2001. V. 80 P. 449
  3. Sohn J.I., Ok Y.-W., Seong T.-Y., Lee S. // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 014 301
  4. Liu H., Zhang Y., Li R., Sun X., Abou-Rachid H. // Particuology. 2011. V. 9. P. 465--470
  5. Karmakar S., Kulkarni N.V., Sathe V.G. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 4829
  6. Peng X., Koczkur K., Chen A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. P. 095 409
  7. Suriania A.B., Aslib N.A., Salinac M. et al. // IOP Conf. Series: Mater. Sci. Eng. 2013. V. 46. P. 012 014
  8. Sengupta J., Jacob C. // J. Nanopart. Res. 2010. V. 12. P. 457--465
  9. Vollebregt S., Derakhshandeh J., Ishihara R. et al. // J. Electron. Mater. 2010. V. 39. P. 371--375
  10. Fejes D., Papa Z., Kecsenovity E. et al. // Appl. Phys. A. 2015. V. 118. P. 855--861
  11. Crouse C.A., Maruyama B., Back T. et al. // J. Am. Chem. Soc. 2008. V. 130. P. 7946--7954
  12. Li Z., Dervishi E., Xu Y. et al. // J. Chem. Phys. 2008. V. 129. P. 074 712
  13. Park Y.-J., Han I.-T., Kim H.-J. et al. // Jap. J. Appl. Phys. Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers. 2002. V. 41. P. 4679--4685
  14. Guzm'an de Villoria R., Figueredo S.L., Hart A.J. et al. // Nanotechnology. 2009. V. 20. P. 405 611
  15. Lobiak E.V., Shlyakhova E.V. et al. // J. Alloys Comp. 2015. V. 621. P. 351--356
  16. Zhang Z., Chua D.H.C., Gao Y. et al. // J. Vac. Sci. Techn. B: Microelectron. Nanometer Structures. 2009. V. 27. P. 41--46
  17. Xu F., Zhao H., Tse S.D. // Proc. Combustion Institute. 2007. V. 31. P. 1839--1847
  18. Varanasi C.V., Bulmer J., Brunke L. et al. // J. Vac. Sci. Techn. A: Vacuum, Surfaces Films. 2008. V. 26. P. 832--835
  19. Gunjishima I., Inoue T., Okamoto A. // Jap. J. Appl. Phys. 2008. V. 47. P. 2313--2316
  20. Moir S.A., Herlach D.M. // Acta Mater. 1997. V. 45. P. 2827--2837
  21. Biris A.R., Li Z., Dervishi E. et al. // Phys. Lett. A. 2008. V. 372. P. 3051--3057
  22. Khan S., Khane Z.H., Tripathi K.N. et al. // J. Nanosci. Nanotechn. 2007. V. 7. P. 1855--1859
  23. Tu K.N. // J. Vac. Sci. Techn. 1982. V. 19. P. 766--777
  24. Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P., Sorokin I.N. // Appl. Phys. A. 2000. V. 70. P. 333--340
  25. Hansen M., Anderko K. Constitution of Binary Alloys. N. Y.: Hill Book Company, 1958
  26. Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P. // Appl. Phys. A. 1995. V. 61. P. 565--567
  27. Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P. et al. // Appl. Phys. A. 1997. V. 64. P. 517--521

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.