"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
CVD-рост углеродных нанотрубок на тонкопленочном катализаторе из сплава Ni20Ti35N45
Громов Д.Г.1, Павлов А.А.2, Скорик С.Н.3, Трифонов А.Ю.4, Шулятьев А.С.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
3НПК Технологический центр", Москва, Зеленоград
4НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград
Поступила в редакцию: 8 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Продемонстрирована возможность формирования массивов углеродных нанотрубок на каталитическом сплаве Ni-Ti-N с низким содержанием никеля методом химического осаждения из газовой фазы. Добавление азота в состав сплава Ni-Ti способствует образованию соединения TiN и выдавливанию Ni на поверхность, на которой он оказывает каталитическое действие при росте УНТ. Показано, что при использовании ацетилена и температуре подложки 650oC вырастает массив УНТ высотой 9 mum в течение 2 min.
  • Iijima S. // Nature. 1991. V. 354. P. 56--58
  • Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Avouris P. // Topics Appl. Phys. 2001. V. 80 P. 449
  • Sohn J.I., Ok Y.-W., Seong T.-Y., Lee S. // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 014 301
  • Liu H., Zhang Y., Li R., Sun X., Abou-Rachid H. // Particuology. 2011. V. 9. P. 465--470
  • Karmakar S., Kulkarni N.V., Sathe V.G. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 4829
  • Peng X., Koczkur K., Chen A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. P. 095 409
  • Suriania A.B., Aslib N.A., Salinac M. et al. // IOP Conf. Series: Mater. Sci. Eng. 2013. V. 46. P. 012 014
  • Sengupta J., Jacob C. // J. Nanopart. Res. 2010. V. 12. P. 457--465
  • Vollebregt S., Derakhshandeh J., Ishihara R. et al. // J. Electron. Mater. 2010. V. 39. P. 371--375
  • Fejes D., Papa Z., Kecsenovity E. et al. // Appl. Phys. A. 2015. V. 118. P. 855--861
  • Crouse C.A., Maruyama B., Back T. et al. // J. Am. Chem. Soc. 2008. V. 130. P. 7946--7954
  • Li Z., Dervishi E., Xu Y. et al. // J. Chem. Phys. 2008. V. 129. P. 074 712
  • Park Y.-J., Han I.-T., Kim H.-J. et al. // Jap. J. Appl. Phys. Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers. 2002. V. 41. P. 4679--4685
  • Guzm'an de Villoria R., Figueredo S.L., Hart A.J. et al. // Nanotechnology. 2009. V. 20. P. 405 611
  • Lobiak E.V., Shlyakhova E.V. et al. // J. Alloys Comp. 2015. V. 621. P. 351--356
  • Zhang Z., Chua D.H.C., Gao Y. et al. // J. Vac. Sci. Techn. B: Microelectron. Nanometer Structures. 2009. V. 27. P. 41--46
  • Xu F., Zhao H., Tse S.D. // Proc. Combustion Institute. 2007. V. 31. P. 1839--1847
  • Varanasi C.V., Bulmer J., Brunke L. et al. // J. Vac. Sci. Techn. A: Vacuum, Surfaces Films. 2008. V. 26. P. 832--835
  • Gunjishima I., Inoue T., Okamoto A. // Jap. J. Appl. Phys. 2008. V. 47. P. 2313--2316
  • Moir S.A., Herlach D.M. // Acta Mater. 1997. V. 45. P. 2827--2837
  • Biris A.R., Li Z., Dervishi E. et al. // Phys. Lett. A. 2008. V. 372. P. 3051--3057
  • Khan S., Khane Z.H., Tripathi K.N. et al. // J. Nanosci. Nanotechn. 2007. V. 7. P. 1855--1859
  • Tu K.N. // J. Vac. Sci. Techn. 1982. V. 19. P. 766--777
  • Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P., Sorokin I.N. // Appl. Phys. A. 2000. V. 70. P. 333--340
  • Hansen M., Anderko K. Constitution of Binary Alloys. N. Y.: Hill Book Company, 1958
  • Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P. // Appl. Phys. A. 1995. V. 61. P. 565--567
  • Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P. et al. // Appl. Phys. A. 1997. V. 64. P. 517--521
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.