"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Комбинационное рассеяние света в пленках оксида меди, осажденных реактивным магнетронным распылением
Левицкий В.С.1, Шаповалов В.И.1, Комлев А.Е.1, Завьялов А.В.1, Витько В.В.1, Комлев А.А.1, Шутова Е.С.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: vishapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света изучено влияние парциального давления кислорода при осаждении и изотермической обработке на химический состав пленок, полученных при магнетронном распылении на постоянном токе медной мишени в реактивной газовой среде. Исследованы три партии образов, изготовленных при парциальном давлении кислорода от 0.06 до 0.16 mTorr, имеющих вследствие этого различный химический состав. Термическая обработка каждого образца выполнена в течение 30 min на воздухе, при одной температуре из диапазона 300-500oC. Установлено, что при повышении температуры в пленках происходят химические изменения и при 450oC во всех партиях они приобретают состав CuO.
  1. Ping Z., Yurong Z., Qingbo Y. et al. // J. Semicond. 2014. V. 35. P. 103 001 (5 p.)
  2. Zoolfakar A.S., Rani R.A., Morfa A.J. et al. // J. Mater. Chem. C. 2014. V. 2. P. 5247--5270
  3. Шаповалов В.И. // Физика и химия стекла. 2010. Т. 36. N 2. С. 148--193 ( Shapovalov V.I. // Glass Phys. Chem. 2010. V. 36. N 2. P. 121--157)
  4. Wong L., Chiam S., Huang J. et al. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. P. 033 702 (6 p.)
  5. Ogwu A., Darma T. // J. Appl. Phys. 2013. V. 113. P. 183 522. (8 p.)
  6. Noda S.S., Shima H., Akinaga H. // AIP Confer. Proc. 2014. V. 1585. P. 9--20
  7. Shutova T.S., Komlev A.E., Shapovalov V.I. et al. // 12th Intern. Conf. "Films and Coatings-2015" St. Petersburg, Russia. P. 157--159
  8. Комлев А.Е., Шаповалов В.И., Шутова Н.С. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 7. С. 134--136. ( Komlev A.E., Shapovalov V.I., Shutova N.S. // Tech. Phys. 2012. V. 57. N 7. P. 1030--1033)
  9. Barybin A.A., Shapovalov V.I. // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 054 905 (10 p.)
  10. Барыбин А.А., Завьялов А.В., Шаповалов В.И. // ФХС. 2012. Т. 38. N 4. С. 515--522.( Barybin A.A., Zavyalov A.V., Shapovalov V.I. // Glass Phys. Chem. 2012. V. 38. N 4. P. 396--401)
  11. Powell D., Compaan A., Macdonald J.R. // Phys. Rev. B. 1975. V. 12. P. 20 (6 p.)
  12. Yu Y.P., Shen Y.R. // Phys. Rev. B. 1975. V. 12. P. 1377 (18 p.)
  13. Taylor J.C.W., Weichman C.L. // Can. J. Phys. 1971. V. 49. P. 601 (5 p.)
  14. Williams P.F., Porto S.P.S. // Phys. Rev. B. 1975. V. 8. P. 1782 (5 p.)
  15. Chou M.H., Liu S.B., Huang C.Y. et аl. // Appl. Sur. Sci. 2008. V. 254. P. 7539 (4 p.)
  16. Chrzanowski J., Irwin J.C. // Solid State Commun. 1989. V. 70. P. 11 (4 p.).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.