Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2015, выпуск 23 » Статья стр. 89
<<<
Получение квазисверхрешеток на границе эпитаксиального слоя 3C-SiC и подложек гексагональных политипов SiC методом сублимационной эпитаксии в вакууме
Лебедев А.А.1,2, Давыдов С.Ю.1,2, Сорокин Л.М.1, Шахов Л.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.
PDF версия
Методом просвечивающей электронной микроскопии исследована структура переходного слоя между гексагональной подложкой (6H-SiC и 4H-SiC) и кубическим слоем карбида кремния, выращенным сублимационной эпитаксией в вакууме. Показано, что переходный слой толщиной ~200 nm состоит из чередующихся слоев кубического (3C) и гексагонального (6H) карбида кремния, что установлено микродифракционным анализом. Продемонстрирована возможность получения такой технологией квазисверхрешеток 6H-SiC/3C-SiC и 4H-SiC/3C-SiC.
  1. Polyakov V.M., Schwierz F. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. P. 023 709
  2. Lebedev A.A., Zamoryanskaya M.V., Davydov S.Yu., Kirilenko D.A., Lebedev S.P., Sorokin L.M., Shustov D.B., Scheglov M.P. // J. Crystal Growth. 2014. V. 396. P. 100--103
  3. Lebedev S.P., Sitnikova A.A., Seredova N.V., Tregubova A.S., Lebedev A.A., Scheglov M.P. // Mater. Sci. Forum. 2013. V. 740--742. P. 267--270
  4. Chandrashekhan M.S., Thomas C.I., Jie Li, Spenser M.G. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91. P. 033 503
  5. Jie Li, Chandrashekhan M.S., Parks J.J., Ralph D.C, Spenser M.G. // Appl. Phys. Lett. 2009. V. 94. P. 162 115
  6. Kim-Hak O., Ferro G., Dazord J., Marinova M., Lorenzzi J., Pollychroniadis E., Chaussende P., Miele P. // J. Crystal Growth. 2009. V. 311. P. 2385--2390
  7. Vasiliauskas R., Juillaguet S., Syvajarvi M., Yakimova R. // J. Crystal Growth. 2012. V. 348. P. 91--96
  8. Vasiliauskas R., Vasiliauskas R., Syvajarvi M., Mantzari M., Andreadou A., Lorenzzi J., Ferro G., Pollychroniadis E.K., Yakimova R. // Mater. Sci. Forum. 2010. V. 645--648. P. 175--178
  9. Лебедев А.А., Мосина Г.Н., Никитина И.П., Савкина Н.С., Сорокин Л.М., Трегубова А.С. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 24. С. 57--63

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme