Генерация плазмы бора в вакуумной дуге с катодом из гексаборида лантана
Николаев А.Г., Окс E.M., Фролова В.П., Юшков Г.Ю.
Поступила в редакцию: 26 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.
Проведено экспериментальное исследование масс-зарядового состава плазмы вакуумной дуги с катодом из гексаборида лантана. Показано, что использование такого материала катода обеспечивает генерацию плазмы с высоким содержанием ионов бора, доля которых достигает 90%. Исследованы временные зависимости зарядового состава плазмы и долевого содержания ионов бора в течение разрядного импульса, а также изменение масс-зарядового состава плазмы при увеличении давления в области горения разряда.
- Rie K.T. // Surf. Coat. Tech. 1999. V. 112. P. 56
- Andersen A. Handbook of plasma immersion ion implantation. N. Y.: J. Willey \& Sons, 2000
- Gushenets V.I., Oks E.M., Savkin K.P. et al. // Rev. Sci. Instrum. 2010. V. 81. P. 02B303
- Oks E.M., Anders A. // J. Appl. Phys. 2012. V. 112 (8). P. 086 103
- Franz R., Clavero C., Bolat R. et al. // Plasma Sources Sci. Technol. 2014. V. 23 (3). P. 035 001
- Brown I.G., Galvin J.E., MacGill R.A. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. P. 358
- Gao Y., Yu Y.J., Tang D.L. et al. // Rev. Sci. Instrum. 1994. V. 65. P. 1281
- Schmidbauer S., Klose H., Ehrlich A. et al. // Surf. Coat. Tech. 1996. V. 82. P. 247
- Nikolaev A.G., Oks E.M., Savkin K.P. et al. // Rev. Sci. Instrum. 2012. V. 83 (2). P. 02A501
- Gushenets V.I., Nikolaev A.G., Oks E.M. et al. // Rev. Sci. Instrum. 2006. V. 77 (6). P. 063301
- Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu., Savkin K.P., Oks E.M. // Rev. Sci. Instrum. 2012. V. 83 (2). P. 02A503
- Anders A., Yushkov G.Yu. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91 (8). P. 4824
- Anders A. // Phys. Rev. E. 1997. V. 55 (1). P. 969
- Yushkov G.Yu., Anders A. // Appl. Phys. Lett. 2008. V. 92. P. 041 502
- Mesyats G.A. // IEEE Trans. Plasma. Sci. 2013. V. 41 (4). P. 676
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
