"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
МОС-гидридная эпитаксия III-N светодиодных гетероструктур с малой длительностью технологического процесса
Лундин В.В., Давыдов Д.В., Заварин E.E., Попов М.Г., Сахаров А.В., Яковлев Е.В., Базаревский Д.С., Талалаев Р.А., Цацульников А.Ф., Мизеров М.Н., Устинов В.М.
Поступила в редакцию: 12 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.

Представлены результаты по оптимизации технологии МОС-гидридной эпитаксии III-N светодиодных гетероструктур в установке Dragon-125 с целью ускорения технологического цикла. За счет достижения высокой скорости роста слоев GaN и оптимизации начальной фазы роста GaN полная длительность эпитаксиального процесса уменьшена с 4 h 45 min до 2 h 44 min. Выращенные по разработанной технологии светодиодные структуры не уступают по качеству выращенным по стандартной технологии на коммерчески доступной установке AIX2000HT.
  1. Koh Matsumoto. Prospect of GaN MOCVD: Challenge and Strategy for Various Substrate Materials / Presented at LED Forum. November 1-2, 2012, Taipei, Taiwan. (http://seminar.ledinside.com/Ledforum/current/US/sharing\_ppt/1-9Taiyo.pdf)
  2. Dauelsberg M., Brien D., Pusche R., Schon O., Yakovlev E.V., Segal A.S., Talalaev R.A. // J. Crystal Growth. 2011. V. 315. P. 224
  3. Gurary A., Mitrovic B., Armour E., Pophristic M., Paranjpe A. // Abstracts of the 4th International Symposium on Growth of III-Nitrides. July 16-19, 2012, St. Petersburg, Russia, P. 96
  4. Matsumoto K., Tokunaga H., Ubukata A., K. Ikenaga K., Fukuda Y., Tabuchi T., Kitamura Y., Koseki Sh., A. Yamaguchi A., Uematsu K. // J. Crystal Growth. 2008. V. 310. P. 3950
  5. Lundin W.V., Sakharov A.V., Tsatsulnikov А.Ф., Ustinov М.М. // Semicond. Sci. Technol. 2011. V. 26 (1). P. 014 039
  6. Lundin W.V., Davydov D.V., Zavarin E.E., Nikolaev A.E., Sinitsyn М.А., Popov M.G., Sakharov A.V., Tsatsulnikov A.F., Mizerov M.N., Ustinov V.M., Yakovlev E.V., Bazarevskiy D.S., Lobanova A.V., Talalaev R.A. // Proc. EWMOVPE. 2013. June 2--5, 2013. Aachen, Germany. P. 255
  7. Лундин В.В., Сахаров А.В., Заварин Е.Е., Синицын М.А., Николаев А.Е., Михайловский Г.А., Брунков П.Н., Гончаров В.В., Бер Б.Я., Казанцев Д.Ю., Цацульников А.Ф. // ФТП. 2009. Т. 43 (7). С. 996
  8. Лундин В.В., Николаев А.Е., Сахаров А.В., Усов С.О., Заварин Е.Е., Брунков П.Н., Яговкина М.А., Черкашин Н.А., Цацульников А.Ф. // ФТП. 2014. Т. 48 (1). С. 55

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.