Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2015, выпуск 3 » Статья стр. 8
<<<>>>
Измерение толщины полупроводниковых подложек в условиях нестационарной температуры с использованием низкокогерентного тандемного интерферометра
Волков П.В.1, Горюнов А.В.1, Лукьянов А.Ю.1, Тертышник А.Д.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: volkov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
PDF версия
Предложен оригинальный метод измерения малых изменений толщины полупроводниковых структур в условиях нестационарной температуры, использующий принцип низкокогерентной тандемной интерферометрии. Достигнуто разрешение ± 2oC по температуре и ± 2 nm по толщине.
  1. Магунов А.Н. Лазерная термометрия твердых тел. М.: Физматлит, 2001. 224 с
  2. Langereis E., Heil S.B.S., Knoops H.C.M., Keuning W., van de Sanden М.С.М, Kessels W.M.М. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. V. 42. N 7. P. 073 001
  3. Deatcher C.J., Liu C., Pereira S., Lada M., Cullis A.G., Sun Y.J., Brandt O., Watson // Semicond. Sci. Technol. 2003. V. 18. N 4. P. 212--218
  4. Volkov P.V., Goryunov A.V., Daniltsev V.M., Luk'yanov A.Yu., Pryakhin D.A., Tertyshnik A.D., Khrykin O.I., Shashkin V.I. // J. Crystal Growth. 2008. V. 310. N 23. P. 4724--4726
  5. Волков П.В., Горюнов А.В., Данильцев В.М., Лукьянов А.Ю., Пряхин Д.А., Тертышник А.Д., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Поверхность, рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2008. N 8. C. 5---10
  6. Волков П.В., Горюнов А.В., Лукьянов А.Ю., Тертышник А.Д., Новиков А.В., Юрасов Д.В., Байдакова Н.А., Михайлов Н.Н., Ремесник В.Г., Кузьмин В.Д. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 12. С. 1505--1509
  7. Волков П.В., Горюнов А.В., Лукьянов А.Ю., Пряхин Д.А., Тертышник А.Д., Шашкин В.И. // Микроэлектроника. 2011. Т. 40. В. 5. С. 331--338
  8. Rao Yu, Jackson D.A. // Meas. Sci. Technol. 1996. V. 7. N 7. P. 981--999
  9. Takayuki Ohta, Chishio Koshimizu, Kanta Kawasaki, Keigo Takeda, Masafumi Ito // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. N 1. P. 013 110
  10. Кульчин Ю.Н. Распределенные волоконно-оптические измерительные системы. М.: Физматлит, 2001. 272 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme