"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Синтез пленок оксида цинка в тлеющем разряде различной конфигурации
Зинченко С.П.1,2, Лянгузов Н.В.2, Захарченко И.Н.2, Ратушный В.И.3, Широков В.Б.1,2
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону
3Волгодонской инженерно-технический институт, Волгодонск
Email: tres-3@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.

Синтезированы и исследованы пленки оксида цинка в тлеющем разряде постоянного тока в атмосфере кислорода при двух геометриях: с полым трубчатым и планарным катодами. При температуре подложки 670 K и давлении кислорода 0.5 Torr пленки, синтезированные в геометрии полого катода, являются столбчатыми, а в геометрии планарного катода - сплошными. Снижение давления с 0.5 до 0.2 Torr в геометрии полого катода приводит к переходу от столбчатой структуры к сплошной, а в геометрии планарного катода не влияет на морфологию пленок. Синтезированные пленки имеют высокую степень кристаллографической ориентации [001]ZnO||[001]Si с полной азимутальной разориентацией в плоскости сопряжения с подложкой.
  1. Morko c H., Ozgur U. Zinc Oxide: Fundamentals, Materials and Device Technology. Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH \& Co. KGaA, 2009. 477 p
  2. Kozuka Y., Tsukazaki A., Kawasaki M. // Appl. Phys. Rev. 2014. V. 1. P. 011 303
  3. Hung S.C., Woon W.Y., Lan S.M., Ren F., Pearton S.J. // Appl. Phys. Lett. 2013. V. 103. P. 083 506
  4. Lu M.-P., Song J., Lu M.-Y., Chen M.-T., Gao Y., Chen L.-J., Wang Z.L. // Nano Lett. 2009. V. 9. N 3. P. 1223
  5. Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применения. Ростов-на-Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. 224 с
  6. Кузовников А.А., Савинов В.П. // Вопросы физики низкотемпературной плазмы: Сб. статей / Под ред. М.А. Ельяшевича. Минск: Наука и техника, 1970. С. 162-165
  7. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 568 с
  8. Лущик Ч.Б., Лущик А.Ч. Распад электронных возбуждений с образованием дефектов в твердых телах. М.: Наука, 1989. 263 с
  9. Reeber R.R. // J. Appl. Phys. 1970. V. 41. P. 5063

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.