Свойства пылевых частиц, образующихся в плазме кислородного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция
Алихаджиев С.Х.1, Лянгузов Н.В.2, Пляка П.С.3, Толмачев Г.Н.3
1Чеченский государственный университет, Грозный, Россия
2Физический факультет ЮФУ, Ростов-на-Дону
3Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: pavstef@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Исследованы поведение и свойства пылевых частиц, образующихся в плазме кислородного емкостного ВЧ-разряда в процессе распыления керамической мишени Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3. Частицы накапливались в потенциальных ловушках вблизи мишени при удаленном положении подложки. Методом рассеяния лазерного излучения получены зависимости плотности пылевого скопления от рабочего давления, мощности, положения подложки и ее потенциала. Собраны пылевые частицы, определены их размеры и изучен состав.
- Зинченко С. П., Толмачев Г. Н. // Прикладная физика. 2012. N 5. С. 53--56
- Казарян М.А. и др. // Известия Томского политехнического университета. 2012. Т. 321. N 2. С. 58--61
- Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. Ростов-на-Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. 224 с
- Юзюк Ю.И. и др. // ФТТ. 2007. Т. 49. В. 9. С. 1676--1682. ( Yuzyuk Yu.I. et al. // Physics of the Sold State. 2007. V. 49. N 9. P. 1759--1765.)
- Weckhuysen B. M. et al. // J. Phys. Chem. B. 1998. V. 102. P. 3773--3778
- Mestl G. et al. // J. Phys. Chem. B. 1997. V. 101. P. 9321--9328
- Пляка П.С. и др. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 4. С. 88--94. ( Plyaka P.S. et al. // Technical Physics Letters. 2010. V. 36. N 4. P. 192--194.)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.