Модифицирование химического состава, морфологии и антиотражающих свойств пленок WSex, формируемых импульсным лазерным осаждением
	
	
Григорьев С.Н.1,2,3, Неволин В.Н.1,2,3, Фоминский В.Ю.1,2,3, Романов Р.И.1,2,3, Волосова М.А.1,2,3
1Московский государственный технологический университет "СТАНКИН", Москва, Россия 
 2
2Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия 
 3
3Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия 

 Email: vyfominskij@mephi.ru
 
	Поступила в редакцию: 28 апреля 2014 г.
		
	Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Исследована возможность регулирования важных структурно-фазовых характеристик пленок WSex, относящихся к классу слоистых материалов и перспективных к применению в современных устройствах нано- и оптоэлектроники. Применение термообработки и ионного облучения в процессе импульсного лазерного осаждения в тени противокапельного экрана позволило варьировать соотношение Se/W от 5 до 1.5, изменять характер атомной упаковки, а также получать пленки как с достаточно гладкой поверхностью, так и с различным профилем поверхности. Увеличение высоты неровностей параболической формы до 200-500 nm позволило понизить коэффициент отражения света в широком диапазоне длин волн от 30% (характерная величина для пленок с гладкой поверхностью) до 6%, что может способствовать существенному повышению эффективности солнечных элементов на полупроводниковых пленках такого типа.
-  Polcar T., Cavaleiro A. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 4037--4044
-  Eda G., Maier S.A. // ACS Nano. 2013. V. 7. P. 5660--5665
-  Su X., Zhang R., Guo C. et al. // Phys. Lett. A. 2014. V. 378. P. 745--749
-  Grigoriev S.N., Fominski V.Yu., Romanov R.I. et al. // Thin Solid Films. 2014. V. 556. P. 35--43
-  Фоминский В.Ю., Григорьев С.Н., Гнедовец А.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 6. С. 87--94
-  Grigoriev S.N., Fominski V.Yu., Romanov R.I. et al. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 282. P. 607--614
-  Клочко Н.П., Хрипунов Г.С., Мягченко Ю.А. и др. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 4. С. 549--555
-  Zhang Z., Wang Z., Wang D. et al. // J. Laser Applications. 2014. V. 26. P. 012 010
-  Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 10. С. 120--128
		
			Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
		
		
			Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.