Модифицирование химического состава, морфологии и антиотражающих свойств пленок WSex, формируемых импульсным лазерным осаждением
Григорьев С.Н.1,2,3, Неволин В.Н.1,2,3, Фоминский В.Ю.1,2,3, Романов Р.И.1,2,3, Волосова М.А.1,2,3
1Московский государственный технологический университет "СТАНКИН", Москва, Россия
2Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
3Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru
Поступила в редакцию: 28 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Исследована возможность регулирования важных структурно-фазовых характеристик пленок WSex, относящихся к классу слоистых материалов и перспективных к применению в современных устройствах нано- и оптоэлектроники. Применение термообработки и ионного облучения в процессе импульсного лазерного осаждения в тени противокапельного экрана позволило варьировать соотношение Se/W от 5 до 1.5, изменять характер атомной упаковки, а также получать пленки как с достаточно гладкой поверхностью, так и с различным профилем поверхности. Увеличение высоты неровностей параболической формы до 200-500 nm позволило понизить коэффициент отражения света в широком диапазоне длин волн от 30% (характерная величина для пленок с гладкой поверхностью) до 6%, что может способствовать существенному повышению эффективности солнечных элементов на полупроводниковых пленках такого типа.
- Polcar T., Cavaleiro A. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 4037--4044
- Eda G., Maier S.A. // ACS Nano. 2013. V. 7. P. 5660--5665
- Su X., Zhang R., Guo C. et al. // Phys. Lett. A. 2014. V. 378. P. 745--749
- Grigoriev S.N., Fominski V.Yu., Romanov R.I. et al. // Thin Solid Films. 2014. V. 556. P. 35--43
- Фоминский В.Ю., Григорьев С.Н., Гнедовец А.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 6. С. 87--94
- Grigoriev S.N., Fominski V.Yu., Romanov R.I. et al. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 282. P. 607--614
- Клочко Н.П., Хрипунов Г.С., Мягченко Ю.А. и др. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 4. С. 549--555
- Zhang Z., Wang Z., Wang D. et al. // J. Laser Applications. 2014. V. 26. P. 012 010
- Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 10. С. 120--128
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.