Бесконтактный перенос изображения через газовую фазу в термически активированном процессе
Шевцов Ю.В.1, Кучумов Б.М.1, Кручинин В.Н.2, Спесивцев Е.В.2, Головнев И.Ф.3, Игуменов И.К.1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
3Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН, Новосибирск
Email: kbm@niic.nsc.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Исследован процесс осаждения слоев оксида гафния в щелевых структурах с помощью импульсного варианта MO CVD с дискретной дозировкой реагентов. В качестве прекурсора использовали тетракис-дипивалоилметанат гафния (Hf(thd)4), а газа-реактанта - кислород. Щелевая структура образована пластиной кремния и стеклянной пластиной со сформированным на нем рисунком хрома. Ширину щели варьировали в интервале 0.1-2.0 mm, при этом аспектное отношение менялось 150-30. Полученные слои были исследованы методом сканирующей эллипсометрии. Обнаружен эффект пространственного переноса изображения с одной подложки на противоположную в виде рельефной наноразмерной пленки оксида гафния, которая повторяет рисунок хрома. Координатное разрешение рисунка по плоскости в проведенных экспериментах достигало 0.025 mm. Данный эффект может быть использован для нелитографического метода формирования изображений пленочных структур.
- Beaulieu D.R., Gorelikov D., Klotzsch H., de Rouffignac P., Saadatmand K., Stenton K., Sullivan N., Tremsin A.S. // IEEE. 2009. C. 295--301
- Kon D., Hashiba K., Kawashima T., Akiyama Y. // ECS. 2009. V. 25(8). P. 333--338
- Шевцов Ю.В., Кучумов Б.М., Семенов А.Р., Игуменов И.К. // Приборы и техника эксперимента. 2013. N 3. С. 116--120. ( Shevtsov Yu.V., Kuchumov B.M., Semenov A.R., Igumenov I.K. // Instruments and Experimental Techniques. 2013. V. 56. N 3. P. 353--357.)
- Головнев И.Ф., Головнева Е.И., Фомин В.М., Кучумов Б.М., Игуменов И.К. // Доклады Академии Наук. 2013. Т. 448. N 1. С. 30--34. ( Golovnev I.F., Golovneva E.I., Fomin V.M., Kuchumov B.M., Igumenov I.K. // Doklady Physics. 2013. V. 58. N 1. P. 1--5.)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.