Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2014, выпуск 15 » Статья стр. 30
<<<>>>
Эпитаксия пленок Pb(Zr,Ti)O3 на Ir/YSZ/Si при катодном распылении: влияние состава реакционного газа
Бешенков В.Г.1, Бурлаков А.А.1, Знаменский А.Г.1, Марченко В.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: marchenk@iptm.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.
PDF версия
Изучены особенности роста пленок PZT на гетероэпитаксиальных структурах Ir/YSZ/Si при катодном ВЧ-распылении керамической мишени в смесях аргона и кислорода. Показано, что распыление в газовой смеси с высоким парциальным давлением кислорода приводит к кристаллизации пленок PZT в метастабильной структуре пирохлора, тогда как распыление в аргоне или использование аргона на начальной стадии распыления приводит к пленкам PZT с равновесной структурой перовскита.
  1. Сергеева О.Н., Богомолова А.А., Киселев Д.А., Малинкович М.Д., Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин В.П. // ФТТ. 2014. Т. 56. В. 4. С. 687. (Phys. Solid State. 2014. V. 56. Iss. 4.)
  2. Афанасьев В.П., Афанасьев П.В., Грехов И.В., Делимова Л.А., Ким С.-П., Коо Ю.-М., Машовец Д.В., Панкрашкин А.В., Парк Я., Петров А.А., Шин С. // ФТТ. 2006. Т. 48. В. 6. С. 1130. ( Afanas'ev V.P., Afanas'ev P.V., Grekhov I.V., Delimova L.A., Kim S.-P., Koo J.-M., Mashovets D.V., Pankraskin A.V., Park Y., Petrov A.A., Shin S. // Phys. Solid State. V. 48. Iss. 6. P. 1200.)
  3. Воротилов К.А., Сигов А.С., Романов А.А. и др. // Наноматериалы и наноструктуры. 2010. Т. 1. N 1. С. 45
  4. Horita S., Horii S., Nakajima H., Umemoto S. // Thin Solid Films. 2001. V. 388. P. 260
  5. Jo J.Y., Yoon J.-C., Lee J.K., Koo J.M., Won J.Y., Kim S.P., Non T.W. // Integrated Ferroelectrics. 2004. V. 67. P. 143
  6. Бешенков В.Г., Знаменский А.Г., Марченко В.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. N 9. С. 67. ( Beshenkov V.G., Znamenskii A.G., Marchenko V.A. // Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2010. V. 4. N 5. P. 75.)
  7. Бешенков В.Г., Знаменский А.Г., Марченко В.А., Пустовит А.Н., Черных А.В. // ЖТФ. 2007. Т. 77. В. 5. С. 102. ( Beshenkov V.G., Znamenskii A.G., Marchenko V.A., Pustovit A.N., Chernykh A.V. // Technical Physics. 2007. V. 52. N 5. P. 636.)
  8. Beshenko V.G., Fomin L.A., Irzhak D.V., Marchenko V.A., Nikolaichik V.I., Znamenskii A.G. // Thin Solid Films. 2012. V. 520. N 23. P. 6888
  9. Kwok C.K., Dessu S.B. // Appl. Phys. Lett. 1992. V. 60(12). P. 1430
  10. Gong Y., Wang C., Shen Q., Zhang L. // Appl. Surface Science. 2013. V. 285. P. 324
  11. Roy R.A., Etzold K.F., Cuomo J.L. // Mat. Res. Symp. Proc. 1990. V. 200. P. 77
  12. Ogawa T., Senda A., Kasanami T. // Jpn. J. Appl. Phys. 1989. V. 28. P. 11

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme