Сравнительный анализ покрытий Cr-B, полученных с помощью магнетронного напыления при постоянном токе и в режиме высокомощного импульсного распыления
Кирюханцев-Корнеев Ф.В.1, Horwat D.1, Pierson J.F.1, Левашов E.A.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия Institut Jean Lamour, Universite de Lorraine, UMR, Nancy,, France CNRS, Institut Jean Lamour, UMR, Nancy,, France
Email: kiruhancev-korneev@yandex.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.
С помощью магнетронного распыления боридной мишени при постоянном токе (DC) и в режиме высокомощного импульсного магнетронного распыления (HIPIMS) получены покрытия в системе Cr-B. Установлено, что при замене режима DC на HIPIMS подавляется столбчатый рост зерен, стойкость к пластической деформации возрастает в 2 раза, индекс пластичности и твердость покрытий увеличиваются на 29 и 18% соответственно.
- Helmersson U., Lattemann M., Bohlmark J., Ehiasarian A.P., Gudmundsson J.T. // Thin Solid Films. 2006. V. 513. P. 1--24
- Lattemann M., Ehiasarian A.P., Bohlmark J., Persson P.A.O., Helmersson U. // Surf. Coat. Technol. 2006. V. 200. P. 6495--6499
- Lewin E., Loch D., Montagne A., Ehiasarian A.P., Patscheider J. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 232. P. 680--689
- Ehiasarian A.P., Hovsepian P.Eh., Hultman L., Helmersson U. // Thin Solid Films. 2004. V. 457. P. 270--277
- Козырев А.В., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Захаров А.Н., Одиванова А.Н. // Физика плазмы. 2011. Т. 37. С. 667--673
- Sittinger V., Lenck O., Vergohl M., Szyszka B., Brauer G. // Thin Solid Films. 2013. V. 548. P. 18--26
- Horwat D., Anders A. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. P. 123306(1--6)
- Kurbatkina V.V., Levashov E.A., Patsera E.I., Kochetov N.A., Rogachev A.S. // Int. J. SHS. 2008. V. 17. P. 189--194
- Alami J., Gudmundsson J.T., Bohlmark J., Birch J., Helmersson U. // Plasma Sources Sci. Technol. 2005. V. 14. P. 525--531
- Shtansky D.V., Kulinich S.A., Levashov E.A., Sheveiko A.N., Kiriuhancev F.V., Moore J.J. // Thin Solid Films. 2002. V. 420--421. P. 330--337
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
